판매용 중고 CANON / ANELVA I-1060 #9144792

CANON/ANELVA I-1060은 순도, 균일 한 박막을 생산할 수있는 고정밀, 산업용 스퍼터링 장비입니다. 캐논 (CANON) 이 개발 한이 시스템은 태양 전지판, 평면 패널 디스플레이, 터치 패널, 광학 저장 매체, 고도로 지정된 증착층이 필요한 기타 여러 가지 품목과 같은 다양한 응용 분야에 널리 사용됩니다. CANON I-1060은 수직 마그네트론 스퍼터 유닛으로, 고 동력 자석을 사용하여 플라즈마 이온을 적절한 모양의 전기 분리 기판으로 추진합니다. 이 방법을 사용하여 사용자는 증착율 (deposition rate), 증착된 재료의 균일성 (uniformity) 및 기타 중요한 매개변수에 대해 높은 수준의 제어권을 가질 수 있습니다. 이 기계는 또한 거의 모든 두께 (thickness) 의 필름을 제작할 수있는 기능을 제공하여 매우 얇은 레이어가 필요한 응용 프로그램에 적합합니다. ANELVA I-1060은 선택된 프로세스에 따라 1 ~ 10 ~ 3 mbar의 압력을 달성하는 광범위한 진공 수준을 제공합니다. 이를 통해 다양한 기판 및 애플리케이션 요구에 맞게 공구를 조정할 수 있습니다 (영문). 또한 I-1060 은 챔버 클리닝 기능과 다양한 웨이퍼 (wafer) 제거 시스템을 제공하여 무인 작동을 허용합니다. 또한, 에셋은 자동 가스 흐름 제어 모델 (automatic gas flow control model) 과 전체 증착 공정에 대한 정밀 제어를위한 미세 동작 포지셔닝 장비를 갖추고 있습니다. CANON/ANELVA I-1060의 다른 기능으로는 RF, DC 및 pulse-DC 스퍼터링을 사용하여 산화물 필름, 전도성 레이어 및 합금 필름을 생성 할 수 있습니다. 이 시스템은 초고진공 응용 프로그램뿐만 아니라 멀티 스텝 자동 챔버 클리닝 장치를위한 내부 피드 스루 (feedthrough) 를 갖추고 있습니다. 또한 CANON I-1060은 평면 음극, 스퍼터 건, 회전 식 음극 및 트리플 웨이브 마그네트론 (triple-wave magnetron) 을 포함한 다양한 코팅 소스를 지원하여 높은 증착율과 고도로 지정된 박막 코팅을 달성합니다. 전반적으로 ANELVA I-1060은 탁월한 스퍼터링 머신 (sputtering machine) 으로, 포괄적인 증착 기능을 제공하며 최고의 품질 표준을 준수합니다. 유연성, 안정성, 정밀성이 있어 높은 성능을 요구하는 다양한 산업용 어플리케이션에 적합합니다.