판매용 중고 CANON / ANELVA I-1060 SVII #9255321

CANON/ANELVA I-1060 SVII는 높은 처리량과 높은 성능을 위해 설계된 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 고출력, 고주파, 무선 주파수 (RF) 스퍼터링 소스, 고전압 고전류 DC 전원, 터보 분자 펌핑 장치 및 통합 진공기로 구성됩니다. RF 스퍼터링 소스는 다양한 기판에 다양한 재료의 박막 (thin film) 을 배치하는 데 사용됩니다. DC 전원은 스퍼터링에 바이어스 전압 (bias voltage) 을 제공하여 증착 속도를 높이면서 결정 성, 곡물 크기, 다공성 및 기타 특성과 같은 원하는 특성을 달성하는 데 사용됩니다. 터보-분자 펌핑 도구 (turbo-molecular pumping tool) 는 스퍼터링 챔버에서 높은 진공 수준을 달성하기 위해 사용되며, 통합 진공 자산은 지속적인 진공 압력을 유지하기 위해 사용됩니다. CANON I-1060 SVII의 스퍼터링 챔버 크기는 600mm x 600mm x 600mm이며 최대 전력은 1.2kW입니다. 그것 은 "실리콘 ', 유리, 도자기, 유리 와 같은 기판 에 박막 과 층 을 대대적 으로 증착 할 수 있도록 설계 되었다. 이 모델에는 균일성 (unifority) 및 반복 가능한 결과에 대한 효율적인 포지셔닝 및 프로세스 제어가 가능한 고속 이동 메커니즘이 있습니다. 또한 질량 흐름 컨트롤러 (Mass Flow Controller) 를 사용하여 증착율의 추가 외부 제어를 제공합니다. ANELVA I-1060 SVII에는 스퍼터링 프로세스를 자동으로 모니터링 및 제어하는 데 사용할 수있는 소프트웨어 제어 장비가 함께 제공됩니다. 이 시스템에는 실시간 프로세스 데이터를 제공하고 직관적인 사용자 메뉴 (user menu) 를 제공하는 터치 스크린 인터페이스 (touch screen interface) 가 있습니다. 또한, 이 장치는 디버깅 및 문제 해결을 위해 프로세스 도중 날짜 및 시간 스탬프가 있는 로그 파일 (log file with date and time stamp) 을 생성합니다. 또한 Sputtering Deposition 프로세스의 문제를 진단하는 데 필요한 화면 도움말도 제공합니다. I-1060 SVII는 더 긴 서비스 수명을 보장하는 업계 표준 (industrial standard) 디자인의 견고한 구조를 갖추고 있습니다. 또한 진동 및 충격 내성 (shock resistance) 을 테스트하여 어려운 작동 조건을 견딜 수 있습니다. 이 기계는 또한 모든 환경에서 안전한 작동을 보장하기 위해 안전 기능 (예: 전기 보호 스위치, 비상 정지 스위치) 을 포함합니다. 또한 이 도구는 쉽게 설치할 수 있도록 빠른 연결 설계를 제공합니다. 결론적으로 CANON/ANELVA I-1060 SVII는 높은 처리량과 높은 성능을 제공하는 안정적이고, 강력하며, 효율적인 스퍼터 증착 자산입니다. 직관적 인 소프트웨어 제어 모델 (Software Control Model), 견고한 구성 및 안전 기능 (Safety Features) 이 있어 연구 및 산업 환경에서 다양한 애플리케이션에 적합합니다.