판매용 중고 CANON / ANELVA I-1060 SVII #293821353

CANON / ANELVA I-1060 SVII
ID: 293821353
웨이퍼 크기: 6"
Sputtering systems, 6".
CANON/ANELVA I-1060 SVII는 전자 부품 제조에 사용되는 고급 스퍼터링 장비입니다. Ni, Ti, Mo, W 및 Si를 포함한 다양한 재료를 스퍼터팅 할 수 있습니다. 이 시스템은 높은 진공 스퍼터링 챔버 (vacuum sputtering chamber) 와 무거운 진공 챔버에 장착 된 스퍼터 건 (sputter gun) 을 갖추고 있습니다. 스퍼터 건에는 조절 가능한 높이 스탠드와 2 개의 스퍼터 헤드 (sputter head) 가 장착되어 기판의 균일 한 코팅을 보장합니다. 이 장치는 수동 회전 플랫폼에서 최대 340mm 직경의 기판을 수용 할 수 있습니다. CANON I-1060 SVII는 견고한 터치 스크린 기반 컨트롤러로 제어되며 다양한 스퍼터링 기술을 사용합니다. DC, 펄스 DC 및 고주파 AC 스퍼터링을 포함한 다양한 소스와 호환됩니다. 기계는 증착율, 균일 성, 미립자 배출 및 광범위한 목표 재료 호환성을 가지고 있습니다. 또한 핫 (Hot) 및 콜드 민 (Cold Min-Max) 온도 컨트롤러로 작동 중 정밀한 온도 관리를 허용합니다. ANELVA I-1060 SVII는 인라인 및 배치 유형 스퍼터 프로세스에서 모두 작동 할 수 있습니다. 인라인 프로세스에는 단일 스퍼터 건 (sputter gun) 으로 기판을 지속적으로 코팅하는 반면, 배치 프로세스에는 여러 기판을 별도의 배치로 스퍼터링합니다. 예를 들어, 1000 개의 기판을 포함하는 배치 프로세스를 약 10 분 안에 완료할 수 있습니다. 이 도구는 UV 치료, PVD/CVD 하드 코팅 및 로드 락과 같은 다른 장비와 결합 될 수도 있습니다. I-1060 SVII는 고품질 부식 내성 스테인리스 스틸 (Stainless Steel) 로 만들어졌으며 사용자 안전을 보장하기 위해 안전 차폐 및 비상 차단을 갖추고 있습니다. 자산은 서비스 가능하며 필터에 쉽게 액세스 할 수 있습니다. 전반적으로 CANON/ANELVA I-1060 SVII는 안정적이고 고성능 스퍼터링 모델로, 정확하고 균일한 코팅으로 다양한 전자 부품을 제작하는 경제적이고 효율적인 솔루션을 제공합니다. 광범위한 스퍼터링 (sputtering) 기술과 일괄 처리 및 인라인 처리 (in-line processing) 기능을 통해 안정적이고 경제적인 스퍼터링 장비를 찾는 제조업체에 적합합니다.
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