판매용 중고 CANON / ANELVA I-1060 SVII Plus 1 #9273917

CANON/ANELVA I-1060 SVII Plus 1은 박막을 기판에 배치 할 수있는 스퍼터링 장비입니다. 일반적으로 광범위한 응용을위한 단단한 필름, 전도성 필름, 유전체 필름 증착에 사용됩니다. CANON I-1060SVII PLUS-1은 처리량이 높고 효율성이 높습니다. 매우 정밀하고, 정확도가 높으며, 매우 다양한 재료를 가진 뛰어난 기계적 특성 (mechanical properties) 을 제공하며, 필름 두께를 단단히 제어하여 매우 얇은 코팅 레이어를 적용할 수 있습니다. ANELVA I-1060 SVII PLUS-1은 표준 테스트 환경에서 최대 100nm/min의 스퍼터 속도를 갖는 1 차 마그네트론 스퍼터 소스를 가지고 있습니다. 수직 작업 영역은 최대 32 "x 18" 의 스퍼터 증착 영역을 제공합니다. 스퍼터 소스는 균일 한 표적 이온 에너지를 제공하는 6KW 전원 공급 장치로 구동됩니다. 스퍼터 소스에는 최대 스퍼터 속도가 132 nm/min인 15 인치 직경 음극 대상이 장착되어 있습니다. 또한 135 ° C 기능을 갖춘 프로그래밍 가능한 회전 기판 홀더가 있습니다. ANELVA I-1060SVII PLUS-1은 터보 분자 및 황삭 펌프의 진공 펌프와 디지털 진공 게이지 (digital vacuum gauge) 를 설치하여 챔버를 낮은 압력으로 신속하게 대피 할 수 있습니다. 기판 난방 시간을 줄이고 다양한 두께의 기판의 균일성을 높이는 APC (Auto Pressure Control) 시스템이 있습니다. 더욱이, 이 장치 는 또한 "헬륨 '누수 검사기 를 갖추고 있는데, 이것 을 통해" 스퍼터' 원 으로부터의 작은 누수 를 직접 측정 할 수 있다. 또한이 도구는 X 및 Y 래스터 동작 에셋으로 설계되었습니다. 이것은 기판의 움직임에 영향을 주어 전체 기판에 균일 한 스퍼터 증착 (sputter deposition) 을 생성하고, 접착력이 향상된 표면 거칠기를 줄입니다. 또한, 활성 플라즈마 모니터는 매끄럽고 균일 한 코팅을위한 올바른 정도의 이온화 된 가스 (ionized gas) 로 스퍼터 속도를 최적화하는 데 도움이됩니다. CANON/ANELVA I-1060SVII PLUS-1은 완전한 컴퓨터 제어 모델로, 사용자 친화적 인 소프트웨어와 함께 사용하여 작업을 쉽게 수행할 수 있습니다. 빠른 설치 (rapid setup) 를 위한 데이터 스토리지 설정이 있으며 프로세스 제어 개요 및 데이터 로깅을 제공합니다. 이 장비는 플라스틱의 하드 코팅, 반도체 증착, 박막 태양 전지 용 박막 증착, TFT 및 LCD 디스플레이, LED 조명 등 다양한 응용 분야에 자주 사용됩니다.