판매용 중고 CANON / ANELVA I-1060 SVII Plus 1 #9171868

CANON/ANELVA I-1060 SVII Plus 1은 박막을 기판에 배치하여 고급 마이크로 일렉트로닉스 및 광학 응용 프로그램을위한 단일 챔버, 고 진공 스퍼터링 장비입니다. 이 장치의 기본 압력은 2x10-6 Torr이며, 활성 단계 터보 분자 펌프를 통해 달성됩니다. I-1060 이 제공하는 최대 스퍼터링 전력 (sputtering power) 은 5kW 이며, 전력 범위가 0-10% 로 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 장치 후면에 장착 된 격리 된 튜브는 마그네트론 스퍼터링을위한 추가 전력을 제공합니다. 또한, I-1060은 기판로드/언로드 챔버를 필름 성장 챔버와 분리하기위한 고 진공 셔터를 갖추고 있습니다. I-1060은 직경이 최대 60cm 인 다양한 목표를 수용 할 수 있으며, 총 목표 면적은 170cm2입니다. 가변 스퍼터 속도는 0.1-30cm/min이며, 마이크로 프로세서 시스템을 사용하여 설정할 수 있습니다. I-1060 (I-1060) 의 테이블 장착 전극은 전자를 대상 물질로 전달하는 전기장 (electric field) 을위한 접지를 제공하여 플라즈마 형성을 초래한다. TME (Table-Mounted Electrode) 는 퇴적된 레이어의 균일성을 높이고 질감 필름의 형성을 가능하게합니다. 이 장치에는 4 단계 황삭 장치뿐만 아니라 유지 보수 진공 밸브, 퍼지 머신, 3 미크론 필터, 2 개의 배플 및 펌핑 라인이 있습니다. 또한, 온도 보상 도구 (Temperation Compensation Tool) 가 있는 디지털 컨트롤러 (Digital Controller) 를 사용하면 작동이 쉬워지고 사용자가 스퍼터 매개변수를 필요에 따라 조정할 수 있습니다. I-1060은 필름 두께가 10% 미만인 정확한 필름 두께 제어를 제공합니다. 품질 제어를 보장하는 모델과 함께 포함된 박막 검사 (Thin-film Inspection) 자산도 있습니다. 또한 I-1060은 스퍼터링 과정에서 Argon, Nitrogen, O2, H2 및 N2와 같은 다양한 가스를 사용합니다. 이외에도, 고급 원격 진단 및 안전 장치 (Advanced Remote Diagnostics and Safety Mechanism) 는 장비 성능을 향상시키고 모든 잠재적 피해로부터 보호합니다.