판매용 중고 CANON / ANELVA I-1060 SVII Plus 1 #9120224

CANON/ANELVA I-1060 SVII Plus 1은 물리적 및 화학적 스퍼터링 프로세스를 모두 수행하도록 설계된 최첨단 다목적 스퍼터링 장비입니다. 이 고성능 스퍼터 시스템은 박막 (Thin Film), 다중 계층 (Multiplayer) 및 컴포지트 (Composite) 와 같은 재료에 대한 다양한 응용 프로그램을 생성 할 수 있습니다. MEMS (Micro-Electro Mechanical Systems) 응용 프로그램, 반도체, 센서 및 광전자와 같은 정밀 스퍼터링이 필요한 산업에서 사용하기에 이상적입니다. 이 장치는 MFPV (Medium Frequency Power Supply) 를 사용합니다. MFPV (Medium Frequency Power Supply) 는 시스템 크기를 줄이면서도 가장 높은 마이크로파 전원 출력을 유지하도록 설계되었습니다. 이것은 스퍼터링 공정의 균일성, 심지어 높은 스퍼터링 속도를 가능하게합니다. CANON I-1060SVII PLUS-1은 탑마운트 주 도구 (소스, 스위치 및 챔버 포함) 와 인체 공학적으로 설계된 운영자 콘솔로 구성됩니다. 또한 하단 마운트 마그네트론 스퍼터링 헤드 (Magnetron sputtering head) 와 소스가 있으며 독립적 인 스퍼터 소스 및 대상 어셈블리와 일치합니다. 이 자산은 또한 Automatic Power Feedback, Digimatic Control, 고속 프로세스 제어 및 데이터 로깅 모델과 같은 획기적인 측정 및 제어 기능을 갖추고 있습니다. 이를 통해 스퍼터 증착률 (sputter deposition rate) 을 정확하게 제어하고 프로세스 최적화 및 프로세스 기능 향상을 위한 정보를 기록할 수 있습니다. 스퍼터 헤드 (Sputter Head) 와 소스 (Source) 는 많은 응용 프로그램에 필요한 통일성과 반복성을 최대화하도록 설계되었습니다. 매우 작은 스퍼터 입자 크기를 생산할 수 있으며, 균일 한 나노 구조 박막 (nanosstructured thin film) 을 생산할 수 있습니다. 이는 고급 전자 제품, 센서 및 MEMS 제품에 큰 이점입니다. 이 장비는 다양한 스퍼터링 프로세스 (sputtering process) 요구 사항을 충족할 수 있는 뛰어난 유연성을 제공하며, 각 애플리케이션을 사용자 정의할 수 있습니다. 여기에는 자동 대상 교환, 이중 소스 스퍼터링 (sputtering), 종료 및 재시작 (resume-start) 작업, 노즐 청소 작업 등이 포함되어 있어 시스템의 생산성과 신뢰성이 가장 뛰어납니다. ANELVA I-1060 SVII PLUS-1은 표면 처리에 가장 높은 처리량, 정밀도 및 신뢰성에 필요한 모든 기능을 갖추고 있습니다.