판매용 중고 CANON / ANELVA I-1060 SVII Plus 1 #293830304

CANON/ANELVA I-1060 SVII Plus 1은 박막 증착을 위해 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. 병렬 스퍼터링 (parallel sputtering) 기술을 사용하여 증착 속도와 균일성을 증가시켜 수동화, 배리어 레이어, 접촉층, 전극 재료 등 다양한 응용 분야에 적합합니다. 이 시스템에는 단일 소스 및 이중 소스 스퍼터링에 모두 사용할 수있는 고출력 RF (Radio Frequency) 생성기가 장착되어 있습니다. 진공 챔버 (vacuum chamber) 는 손쉬운 작동 및 유지 관리를 위해 설계되었으며, 챔버 압력을 제어하기 위해 내장 된 기계 펌프가 있습니다. 내장형 터보 펌프는 백그라운드 압력 (background pressure) 을 보장하고 별도의 게터 펌프가 필요하지 않습니다. 이 장치의 부동, 스테인리스 스틸 양극판 (목표 홀더) 은 균일 한 증착을 보장하며, 필요한 경우 추가 에칭 및 클리닝, 역 바이어스 스퍼터링 (reverse bias sputtering) 에 대용량 이온 건을 사용할 수 있습니다. 이 기계에는 산소, 질소, 아르곤과 같은 반응성 가스의 증착을위한 가스 사료 도구가 포함되어 있습니다. 또한, 자산은 물을 사용하지 않고 실온과 섭씨 300도 사이의 온도를 제어 할 수 있습니다. CANON I-1060SVII PLUS-1은 0.1에서 5kW 사이의 다양한 스퍼터링 전력을 제공하며, 선택 가능한 주파수는 13.56MHz입니다. 그것 은 강력 한 석영 "램프 '를 갖추고 있는데, 그것 을 사용 하여 퇴적 된" 필름' 을 전수 할 수 있다. 추가적인 이점으로서, 모델은 원격 모니터링 (remote monitoring) 및 제어 장비 (control equipment) 를 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 모든 위치에서 배치 매개변수를 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 전반적으로, ANELVA I-1060 SVII PLUS-1은 저렴한 가격으로 신뢰할 수 있는 고성능 스퍼터링이 필요한 어플리케이션에 이상적인 선택입니다. 고급 기능 (advanced features) 과 다양한 기능의 조합으로 광범위한 증착 프로세스에 적합합니다.