판매용 중고 CANON / ANELVA I-1060 SVII Plus 1 #293643648

CANON / ANELVA I-1060 SVII Plus 1
ID: 293643648
빈티지: 2000
Sputtering systems 2000 vintage.
CANON/ANELVA I-1060 SVII Plus 1은 정밀 코팅 응용 프로그램을 위해 설계된 다기능 스퍼터링 장비입니다. 즉, 프로세스 단계를 하나의 작업으로 결합하여 효율성을 높일 수 있습니다. 이 시스템은 주 장치, 전원 공급 장치, 필터 하우징 및 4 개의 스퍼터링 대상으로 구성됩니다. 주 단위에는 기울기 가능 테이블, 기판 처커, 회전 셔터 및 진공 챔버가 포함됩니다. 기판 척 (기판 척) 은 표에 기판을 배치하고 정렬하는 데 사용되며, 스퍼터링 프로세스 전반에 걸쳐 방향을 유지하는 데 도움이됩니다. CANON I-1060SVII PLUS-1의 전원 공급 장치는 최대 7500 W의 전력을 공급할 수 있으며, 이를 통해 다양한 스퍼터링 어플리케이션을 사용할 수 있습니다. 필터 하우징을 사용하면 프로세스 제어를 강화하기 위해 다른 필터 중에서 선택할 수 있습니다. 4 개의 스퍼터링 대상은 최대 4 개의 다른 재료를 동시에 스퍼터링하는 데 사용할 수 있습니다. 이를 통해 여러 계층 코팅뿐만 아니라 다양한 기판 조합 및 컴포지션 조합이 가능합니다. ANELVA I-1060 SVII PLUS-1에는 고급 컴퓨터 제어 장치도 있습니다. 이 기계는 스퍼터링 프로세스를 모니터링하고 전원, 대상 재료, 기판 크기, 두께, 증착률 등의 매개변수를 제어할 수 있습니다. 따라서 스퍼터링 프로세스를 정확하게 모니터링하고 최적화할 수 있습니다. 반복 가능한 결과를 보장하기 위해 도구는 또한 과잉 스퍼터링을 방지하는 자동 정지 기능을 제공합니다. ANELVA I-1060SVII PLUS-1은 또한 향상된 안전 패키지를 특징으로하며, 여기에는 운영 중 자산의 안전한 작동을 보장하는 안전 연동이 포함됩니다. 이 모델에는 공정 가스를 제어하고 스퍼터 챔버 (Sputter Chamber) 에 일관된 공급을 제공하는 가스 제어 장비도 포함되어 있습니다. ANELVA I-1060 SVII Plus 1은 높은 스퍼터링 속도, 높은 증착율, 저막 스트레스, 프로세스 제어 향상 등 정밀 코팅 응용 프로그램에 대한 다양한 이점을 제공합니다. 이 시스템은 또한 신뢰성이 높고 유연하여 다양한 스퍼터링 (sputtering) 애플리케이션에 적합합니다. 이것은 작은 실험실 샘플 분석에서 대규모 생산에 이르기까지 코팅 (coating) 및 표면 처리 응용 분야에 이상적인 선택입니다.
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