판매용 중고 CANON / ANELVA I-1012 #9148534

CANON/ANELVA I-1012 스퍼터링 장비는 정확하고, 안정적이며, 제어하기 쉬운 박막 증착을 제공하기 위해 개발 된 고급 산업 도구입니다. 이 시스템은 2 개의 평면 음극 (또는 전자 총), 고전압 DC 전원 공급 장치 및 진공 장치를 갖춘 메인 챔버로 구성됩니다. 적용 된 음극 전압 및 전류는 독립적으로 변할 수 있으며, 제어 된 균질 스퍼터링 프로세스를 허용한다. 표적에 대한 정확한 재료 전달 및 증발을 보장하기 위해 폐쇄 루프 가스 흐름 컨트롤러 (closed-loop gas flow controller) 도 포함됩니다. CANON I-1012는 최대 12 인치 직경의 대상을 수용 할 수 있으며, 최대 3 입방 피트의 챔버 크기를 처리할 수 있습니다. 이 기계는 금속, 도자기, 산화물, 질화물 등 다양한 물질의 스퍼터 코팅 증착을 가능하게하도록 설계되었습니다. 그것 은 텅스텐, 티타늄, 바나듐 과 같은 가장 단단한 금속 까지도 종이, 플라스틱, 유리, 규소, 구리, 알루미늄, 스테인리스 스틸 등 여러 가지 기판 에 퇴적 시킬 수 있는 능력 을 가지고 있다. ANELVA I-1012는 두께와 구성 내성이 약 ± 1% 인 뛰어난 필름 균일성을 제공합니다. 이 도구의 1-2초 주기 타이밍은 일괄 처리에 이상적입니다. I-1012 (I-1012) 는 또한 독립적 인 전극 제어를 특징으로하며, 표적의 넓은 영역에 걸쳐 균일하고 재생 가능한 코팅 두께를 갖습니다. 또한 진단 에셋 (diagnostic asset) 이 내장되어 있어, 장비 장애 또는 프로세스 장애로 인한 프로세스 개선과 다운타임 단축을 위해 성능 문제를 해결하고 모니터링할 수 있습니다. 최대 안전을 위해 CANON/ANELVA I-1012는 주 챔버 진공을 차단하고 고전압 공급을 중단하는 2 개의 과압 시스템에 의해 보호되므로 위험한 상황이 발생할 수 있습니다. 또한, 이 모델에는 종합적인 안전 경보 (safety alarm) 가 기본으로 제공되며, 프로세스 사이클 전반에 걸쳐 챔버 압력을 자동으로 유지하기위한 제어가 제공됩니다. 이 장비는 또한 포괄적인 원격 모니터링 기능을 갖추고 있으며, 문제 해결 및 조정을 용이하게 하기 위해 사용자에게 제공되는 프로세스 데이터 채널 (최대 25 개 채널) 을 제공합니다. 전반적으로 CANON I-1012는 높은 제어성, 균일성 및 정확한 박막 증착을 제공하는 이상적인 산업 도구입니다. 또한, 사용자 안전과 편의를 염두에 두고 안정적인 성능을 제공합니다.