판매용 중고 CANON / ANELVA EVP-36737 #9048856

CANON/ANELVA EVP-36737 스퍼터링 장비 (sputtering equips) 는 얇은 재료 층을 지지면에 배치하는 데 사용되는 기술 유형입니다. 이 스퍼터링 시스템은 증착 장치 헤드 (deposition unit head) 와 전자 총 (electron gun assembly) 이 통합 된 진공 챔버로 구성됩니다. 진공 챔버 (vacuum chamber) 는 높은 진공 상태, 최대 1.5 x 10-4 Pa.의 작동을 가능하게하도록 설계되었습니다. 물 냉각 기능이있는 게이트 밸브 (gate valve) 를 사용하여 챔버 내부의 진공 압력을 조정하여 최적의 증착 조건을 허용할 수 있습니다. 통합 증착 헤드 (integrated deposition head) 에는 하나 이상의 스퍼터링 음극이 있으며, 이를 통해 지지면에 물질을 직접 증착 할 수 있습니다. "스퍼터링 '음극 은 원하는 증착 물질 의 물질적 특성 을 맞추기 위하여 여러 가지 종류 의 표적 들 을" 스퍼터링' 할 수 있다. 스퍼터링 (sputtering) 과정은 총 (gun) 어셈블리에서 전자 빔 (electron beam) 에 의한 표적의 폭격으로 구성되며, 이는 표적의 물질이 분출되어 기판에 퇴적됩니다. 전자 총 어셈블리는 전자 총, 필라멘트, 수정 키트 및 디플렉터 플레이트로 구성됩니다. 이것 은 높은 "에너지 '밀도 하 에서 금속 과 유전체 를 분출 할 수 있으며, 수동적 으로 그리고" 디지털' 으로 조정 하여 전자 빔 '위치 와 강도 를 조절 할 수 있다. 이렇게 하면 증발 영역 (evaporation area) 의 크기와 지지면 (supported surface) 에 배치된 재료의 두께를 제어할 수 있습니다. CANON EVP-36737 스퍼터링 머신 (sputtering machine) 은 웨이퍼, 필름 및 기타 섬세한 재료에 코팅 증착, 태양 전지 및 평면 패널 디스플레이 생산 등 다양한 응용 분야를 갖추고 있습니다. 자동차 부품, 전자 제품, 정밀 기기 등 다양한 기판에 적합하며, 높은 수준의 정확성과 반복성 (repitivity) 으로 인해 매우 적합합니다. 또한, 사용자는 증착 과정 (deposition process) 을 실시간으로 모니터링하고, 보다 효율적인 생산 프로세스를 제공하고, 증착된 재료의 품질을 더 잘 제어할 수 있습니다. 전반적으로, 이 스퍼터링 도구 (sputtering tool) 는 신뢰할 수 있고 반복 가능한 방식으로 광범위한 증착 과정을 수행하는 데 사용될 수 있습니다.