판매용 중고 CANON / ANELVA EVD-500A #293649687

캐논/아넬 바 에브 드-500A (CANON/ANELVA EVD-500A) 는 다양한 기판에 광범위한 재료를 정확하고 균일하게 증착하도록 설계된 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 일반적으로 고온 (섭씨 850 도) 에서 재료를 퇴적시키는 데 사용되며, 산업 생산과 실험실 연구에 적합합니다. 이 장치는 두 가지 주요 구성 요소 (주 챔버와 전원 공급 장치) 로 구성됩니다. 주 챔버 (main chamber) 는 물질이 기판에 스퍼터되는 스퍼터 대상 (sputter target) 을 수용하도록 설계된 직사각형, 밀봉 된 선박입니다. 약실 은 저압 과 균일 한 압력 으로 작동 하도록 설계 되었으며, "가스 '의 최적 수준 을 유지 하여 균일 한 증착 을 보장 한다. 전원 공급 장치는 DC 전원과 스퍼터 건으로 구성됩니다. DC 전원은 챔버 내부에 스퍼터 (sputter) 조건을 생성하는 데 필요한 높은 전력을 생성하는 데 사용됩니다. 스퍼터 건 (Sputter Gun) 은 음극과 양극으로 구성되며, 전원 공급 장치에 연결되어 그 사이에 전기 호가 생성됩니다. 이 호 는 "스퍼터 '표적 과 충돌 하는" 이온' 의 흐름 을 만들어, 기판 에 놓을 "플라즈마 '장 입자 를 만든다. "스퍼터 '된 입자 들 은" 서셉터' 판 위 에 있는 "챔버 '의 중앙 에 놓인 기판 을 향해 향한다. "플레이트 '는 원하는 온도 로 가열 되고 그 온도 에 영향 을 받은 입자 들 은" 코우팅' 을 균일 하게 한다. 증착율은 전력 수준, 스퍼터 건 및 챔버 압력에 의해 결정됩니다. 캐논 에브 드-500A (CANON EVD-500A) 는 매우 효율적이고 신뢰할 수있는 스퍼터링 머신으로, 다양한 재료를 매장하도록 설계되었습니다. 산업 및 실험실 응용에 적합하며, 고품질 및 균일 한 코팅을 제공합니다. 이 도구는 사용 및 유지 보수가 용이하며, 최대한의 운영자 안전을위한 고급 안전 (Advanced Safety) 기능을 갖추고 있습니다.