판매용 중고 CANON / ANELVA EVC-1701 #9282622

CANON/ANELVA EVC-1701은 반도체 장치 생산에 사용하도록 설계된 고급 스퍼터링 장비입니다. 첨단 기술을 활용하여 기판에 다양한 재료 (예: 장벽, 수동층) 를 정확하게 배치합니다. 이 시스템은 대규모 기판에 대한 일관된 예금 비율 (deposit rate) 과 균일성 (unifority) 을 보장하는 통합 자동화 기능으로 설계되었습니다. 이 장치에는 알루미늄, 구리, 지르코늄, 염소 등과 같은 다양한 재료를 보유 및 스퍼터링 할 수있는 2 개의 대형 6 포켓 회전 음극이 장착되어 있습니다. 또한 고주파 자기장 (High Frequency Magnetic Field) 이 포함되어 있어 공정 중에 균일 한 퇴적층을 만들고 유지하는 데 도움이됩니다. 이 기계에는 다중 디스크 기판 로봇 전송 도구 (Substrate Robotic Transfer Tool) 가 포함되어 있으며, 이 도구는 기본 챔버에서 로딩 및 언로드 위치로 다양한 크기와 모양의 기판을 정확하고 빠르게 전송합니다. 이 기능은 여러 기판의 최적의 처리 및 효율적인 생산을 촉진하여, 파손 및 오염을 최소화합니다. 에셋에는 고정밀도 웨이퍼 방향 (wafer-orientation) 모델이 장착되어 있어 웨이퍼를 증착원에 정확하고 정확하게 배치할 수 있습니다. 이는 잘못된 방향 또는 균등한 정렬로 인한 물리적 손상을 방지하는 데 도움이됩니다. 또한, 이 장비는 터치 패널 사용자 인터페이스가 내장된 개인용 컴퓨터 (personal computer with the touch panel user interface) 를 통해 간단하고 사용자에게 친숙한 환경을 제공합니다. 이 시스템은 외부 컴퓨터 장치 (computer unit) 와 통합되어 원격 작동 및 모니터링이 가능합니다. CANON EVC-1701 기계는 매우 정확하지만 에너지 효율적입니다. 이 도구에는 몇 가지 에너지 절약 기능 (예: 증착 영역을 제한하고, 길 잃은 플라즈마가 작업 영역에 들어가는 것을 방지하는 이동식 셔터) 이 장착되어 있습니다. 이는 에너지를 절약하고 자산의 열 분배를 줄이는 데 도움이됩니다. 전반적으로, ANELVA EVC-1701은 반도체 장치 생산을 위해 기판에 물질을 스퍼터링하기에 매우 신뢰할 수있는 공급원입니다. 매우 효율적이고, 정확하며, 다양한 재료를 수용 할 수 있습니다. 수많은 자동 (automated) 기능과 에너지 절약 (energy-saving) 설계를 통해 반도체 생산 요구에 대한 비용 효율적인 솔루션을 찾는 사람들에게 이상적인 선택이 됩니다.