판매용 중고 CANON / ANELVA EVC-1701 #9269417

CANON/ANELVA EVC-1701은 박막 증착을 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 첨단 직류 (DC) 스퍼터링 전원 공급 장치 (sputtering power supply) 와 혁신적인 형태 형성 제어 기술 (shape-forming control technology) 을 통해 작은 구성 요소와 두께가 균일한 장치를위한 고정밀 박막 (thin film) 을 생산할 수 있습니다. 스퍼터링 시스템은 자기 및 마그네트론 스퍼터링 공정 (magnetron sputtering process) 에 의해 구동되는 물질을 증착 할 수있다. 전원 공급 장치 (Power Supply) 를 통해 사용자는 적출률을 정확하게 제어하여 얇고 균일 한 필름을 생산할 수 있습니다. 이 컨트롤은 온보드 펄스 생성기와 폐쇄 루프 (closed-loop) 장치를 통합하여 가능합니다. 펄스 발전기는 ABC (Active Beam Control) 기계에 의해 지원되며, 이는 증착 과정 중 정확한 전압을 측정하여 정확하고 재생성 가능한 박막 증착을 지원합니다. CANON EVC-1701은 또한 마그네트론 스퍼터링 기술을 제공하여 사용자가 필름의 특성과 모양을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 마그네트론 스퍼터링 (Magnetron sputtering) 은 기판 표면에 더 각진 모양을 형성 할 수 있기 때문에 DC 스퍼터링보다 더 발전된 스퍼터링 프로세스입니다. 이 기술 은 주 로 "필름 '조성 을 변경 하지 않고" 구리' 나 "알루미늄 '과 같은 금속성 박막 을 생산 하는 데 사용 될 수 있다. 이 도구는 큰 기판에서 복잡한 모양, 형상에 이르기까지 다양한 응용 프로그램 범위를 지원합니다. 큰 직사각형 조각에서 CANON Monacloud Series 기판과 호환되며 얇은 필름을 3 차원 형태로 복잡한 표면 구성 요소에 직접 배치 할 수도 있습니다. 스퍼터링 기술 외에도 ANELVA EVC-1701에는 내장 처리 실, 가스 흐름 제어를위한 조절 가능한 대량 흐름 컨트롤러, 챔버에 배달 할 수있는 선택 가능한 가스 흐름, 자동 열 관리, 사용자 친화적 인 메뉴 자산 등 여러 기능이 있습니다. 증착 프로세스. EVC-1701은 광범위한 응용 프로그램을 갖춘 고급 스퍼터링 모델입니다. 증착율 (Deposition Rate), 균일 한 박막 (Thin Film) 및 뛰어난 모양 제어를 정확하게 제어하면 광범위한 산업 및 연구 응용 분야에 이상적인 선택이됩니다.