판매용 중고 CANON / ANELVA EVC-1701 #9181769

CANON/ANELVA EVC-1701 스퍼터링 장비는 산업 응용 분야에 사용하기 위해 다양한 금속 및 재료의 필름을 생산하도록 설계된 첨단 자동 시스템입니다. 이 장치는 CANON 스퍼터 증착 기술과 C-1701 진공 증착 컨트롤러를 결합하여 성능을 최적화합니다. 평면 및 볼록 표면 응용 모두에 대한 고급 스퍼터링 기술 (이중 마그네트론 구성 포함) 이 특징입니다. CANON EVC-1701은 다양한 장치 구조에 대한 증착률이 낮고 높은 영화를 제작할 수 있습니다. 이 기계는 초고진공 (UHV) 조건에서 작동하도록 설계되었으며, 다양한 스퍼터링 화학 물질 및 기질 온도를 처리 할 수 있습니다. 내장 장치를 사용하면 스퍼터 속도, 가스 흐름, 이온화 속도, 필름 두께, 증착률 등 중요한 매개변수에 대한 정확한 모니터링 및 제어가 가능합니다. 이 도구에는 다양한 특수 액세서리 (accessory) 가 장착되어 있어 스퍼터링 프로세스의 최적의 사용자 정의가 가능합니다. 이러한 액세서리에는 다양한 기판, 기판 히터, 콜리메이터, 대상 및 백킹 플레이트가 포함됩니다. 기판 히터는 기질 온도를 정확하게 제어 할 수 있으며, 최대 350 ° C의 온도에 도달 할 수 있습니다. 공준기는 스퍼터 플룸 (sputter plume) 의 모양과 영역을 제어하는 데 사용됩니다. ANELVA EVC-1701은 또한 스퍼터링 프로세스 및 결과를 최적으로 제어하기위한 정교한 가스 전달 자산을 갖추고 있습니다. 자동화된 가스 박스 (automated gas box) 는 저압 스퍼터링 조건을 모두 생성하여 다양한 스퍼터링 프로세스 및 필름 증착률 (film deposition rate) 의 요구 사항을 안정적으로 충족하도록 설계되었습니다. 전반적으로 EVC-1701은 품질 장치를 생산하기위한 컴팩트하고 효율적인 모델입니다. 첨단 스퍼터링 (Sputtering) 기술로 설계되었으며 증착 과정을 안정적으로 제어 할 수 있습니다. 장비는 편리하게 사용자 정의할 수 있으며 사용이 간편합니다. 자동화된 가스 공급 시스템과 내장 장치를 갖춘 CANON/ANELVA EVC-1701은 정교한 산업 응용 프로그램 및 장치 제작에 이상적입니다.