판매용 중고 CANON / ANELVA EVC-1701 #9107302

CANON/ANELVA EVC-1701은 증착, 필름 코팅 및 에칭 응용 프로그램을 위해 설계된 고성능 마이크로 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 새로운 진공 코팅 요구를 위한 효율적이고 비용 효율적인 선택입니다. 이 장치는 플라즈마 균일 성을 위해 전동 틸트 조정이있는 단일 음극 작업 챔버를 사용합니다. 이 챔버는 진동 특성이 낮은 알루미늄 (aluminum) 과 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 진공 펌프가 내장되어 있습니다. 다양한 셔터 컨트롤러와 수동으로 조절 가능한 에어록 도어가 포함되어 있습니다. 양극은 고주파 생성기 (high frequency generator) 로 구동되며 전력 밀도, 펄스 너비 및 주파수를 제어하는 데 사용할 수 있습니다. 이를 통해 코팅 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 기계는 최대 1 킬로암프의 전류에서 0 ~ 1,500 볼트의 조정 가능한 출력 전압을 가진 DC 전원을 사용합니다. CANON EVC-1701 도구에는 3 단계 스퍼터링 건이 장착되어 있습니다. 이 총에는 수냉식 자산, 조절 가능한 전력 수준 및 원, 선, 사각형 및 삼각형과 같은 다양한 증착 모양이 포함됩니다. 물 냉각 모델은 기판에 대한 열 손상을 줄이고 일관된 스퍼터링 속도를 보장합니다. 이 장비는 금속, 유리, 플라스틱, 도자기 등 다양한 기판에 사용될 수 있습니다. 불규칙한 모양의 비사각형 기판에 균일 한 필름 코팅을 생산하도록 설계되었습니다. 추가 기능에는 배치 영역을 제어하기위한 전면 창 옵션이 포함됩니다. 창문은 부식에 강한 석영으로 만들어졌으며 최대 1,000 ° C (1832 ° F) 의 온도를 견딜 수 있습니다. ANELVA EVC-1701 시스템은 컴팩트한 설계를 갖추고 있으며, 설치 공간을 최소화하며, 모든 생산 라인에 쉽게 통합 할 수 있습니다. 사용자 친화적인 작동 패널과 디지털 디스플레이를 통해, EVC-1701 스퍼터링 장치는 수많은 어플리케이션에 이상적인 솔루션을 제공합니다.