판매용 중고 CANON / ANELVA EVC-1701 #293820426

CANON/ANELVA EVC-1701은 고급 재료 처리를 위해 만들어진 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 이 제품은 다양한 장치 응용프로그램 (application) 을 위한 소재의 박막 증착 (thin-film deposition) 의 고효율 작동을 위해 설계된 하이엔드 시스템입니다. 이 장치는 최대 작동 압력 10-3 Torr까지 재료를 처리 할 수 있으며 고귀한 금속, 도자기, 산화물, 합금, 유전체, 금속 및 비금속과 같은 다양한 소스 재료를 활용할 수 있습니다. 기계는 또한 최적의 성능을 위해 압력, 전력, 기판 속도, 기판 바이어스 전압, 챔버 온도 및 가스 흐름 속도와 같은 스퍼터링 프로세스 조건을 변화시킬 수 있습니다. 이를 통해 정확한 두께와 원하는 속성의 고품질 박막을 얻을 수 있습니다. 컴퓨터에는 그래픽, 메뉴 방식 메뉴 도구를 기반으로 하는 사용자에게 친숙한 인터페이스가 있습니다. 진공실에는 특수 다이오드 펌프 (diode-pumped) 흡수 모니터가 장착되어 있어 스퍼터링 프로세스의 동적, 실시간 모니터링이 가능합니다. 이렇게 하면 공정 의 원하는 "파라미터 '를 유지 하는 데 도움 이 되며, 이" 파라미터' 는 축적 된 재료 의 균일 한 질 을 보장 해 준다. 또한 고급 제어 (Advanced Control) 기능을 통해 특정 애플리케이션 요구 사항에 따라 모델의 운영 매개변수를 조정할 수 있습니다. 예를 들어, 스퍼터링 (sputtering) 시 특정 적용 범위 (coverage area) 를 얻기 위해 장비를 설정하여 노즐을 기판 표면에서 지정된 거리로 자동 이동할 수 있습니다. 또한, 소프트웨어는 닫힌 루프 피드백 (closed-loop feedback) 제어를 제공하여 스퍼터링 프로세스 동안 항상 일관된 결과를 보장합니다. CANON EVC-1701 시스템은 다양한 고급 재료 처리 응용 프로그램에서 박막 증착에 이상적입니다. 즉, 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 쉽게 작동할 수 있으며, 고급 제어 (Advance Control) 기능을 통해 애플리케이션 요구 사항에 가장 적합한 운영 매개변수를 조정할 수 있습니다. 특수 다이오드 펌프 흡수 모니터 (diode-pumped absorction monitor) 는 스퍼터링 프로세스를 동적으로 실시간 모니터링하여 최고 품질의 결과를 제공합니다.