판매용 중고 CANON / ANELVA EVC-1501 #9048865

CANON/ANELVA EVC-1501은 고급, 고정밀 스퍼터링 장비로, 정밀한 금속 또는 유전체 박막 증착이 가능합니다. 전자, 광전자 및 MEMS 응용 프로그램에 채택된 서브 미크론 레이어 두께 (sub-micron layer thickness) 정밀도 덕분에 증착률 및 품질이 향상되는 등의 고급 기능을 사용합니다. 이 스퍼터링 시스템은 질량 중화를위한 전자 빔 건 (electron beam gun) 과 EMEC (electro-magnetic environment control) 장치를 사용하여 서브 미크론 레이어 두께 일관성을 허용합니다. 증착율은 높으며, 정상 상태 작동 압력은 약 0.1mBar ~ 1mBar, 최대 목표 전류는 150mA입니다. 또한, 절연 전압은 0 ~ 150 V에서 조절 가능하며, 필요에 따라 코팅의 두께와 균일성을 조정할 수 있습니다. 또한, 증착은 반응성 대기 또는 비 반응성 대기에서 수행 될 수 있으며, 최대 15 단위 실온 작동 기능이 있습니다. 이 기계는 또한 고성능 고진공 터보-분자 펌프 (high-vacuum turbo-molecular pump) 와 함께 제공되어 작동 실로 빠르고 효율적인 대피 속도를 제공합니다. 또한, 이 도구는 고급 입자 모니터와 펌프 다운 모니터 (Pump-Down Monitor) 를 갖추고 있어 대피 과정에 대한 높은 수준의 제어를 제공합니다. 이것은 정확하고 신뢰할 수있는 증착 과정을 지원합니다. CANON EVC-1501은 또한 고속 출력 펄스 생성기를 갖추고 있으며, 이를 통해 빠른 펄스 스퍼터링을 구현할 수 있습니다. 또한 사용자는 oxide-nitride thin film deposition, grain size control 및 dielectric property control과 같은 다양한 패턴 제어 기능을 사용할 수 있습니다. 전반적으로, ANELVA EVC-1501 스퍼터링 자산은 금속 또는 유전체 박막의 증착을 위해 설계된 고급적이고 정확한 스퍼터링 모델입니다. 효율적인 대피를 위해 개선 된 서브 미크론 레이어 두께 정확도, 조절 가능한 절연 전압, 고급 진공 터보 분자 펌프 (Premium-Quality Vacuum Molecular Pump) 와 같은 증착율 및 품질 향상을위한 여러 가지 고급 기능이 있습니다. 또한, 많은 속성 (properties) 이 적용되어 높은 레이어 균일성과 광범위한 응용 프로그램이 가능합니다.