판매용 중고 CANON / ANELVA EVC-1501 #9031250

CANON/ANELVA EVC-1501은 고품질의 고르게 분배 된 박막 (thin film) 을 기판 표면에 배치하는 데 사용되는 고진공 스퍼터 증착 장비입니다. 인쇄 전자 제품 및 OLED 디스플레이와 같은 매우 까다로운 산업 및 연구 응용프로그램을 위해 설계되었습니다. 이 시스템에는 로드 락 챔버 (load-lock chamber) 가 장착되어 있는데, 이 챔버 (load-lock chamber) 는 프로세스 중 저압 환경을 제공하여 스퍼터링 프로세스가 통제 된 조건에서 이루어질 수 있습니다. CANON EVC-1501은 평면 또는 회전 스퍼터링 모드에서 작동 할 수 있으며, 단일 및 다중 대상 스퍼터링을 모두 사용할 수 있습니다. 이 장치에는 VCZ (Variable Control Zone) 라고하는 멀티 존 (multi-zone) 프로세스 챔버가 있으며, 이를 통해 사용자는 생성 된 코팅의 강도와 균일성을 제어 할 수 있습니다. VCZ 는 기판 의 위치 를 대상 (target) 에 따라 바꿀 수 있으므로, 스퍼터링 프로세스 (sputtering process) 를 사용자 요구 사항에 따라 사용자 정의할 수 있습니다. 이 기계에는 고층 DC 마그네트론 스퍼터링 소스가 장착되어 있으며, 이는 우수한 접착력과 균일 성을 가진 박막 코팅을 만들 수 있습니다. 저간격 설계 (low-intersputtering design) 로 인해 서비스 수명이 연장되었으며, 높은 증착률로 작동 할 수 있습니다. 이 도구에는 스퍼터링을위한 2.4kW RF 파워 앰프가 있으며, 조절 가능한 전력 범위는 30-150 V입니다. 또한 정밀도 향상 및 스퍼터링 프로세스 제어를 위해 가변 주파수 생성기 (variable-frequency generator) 가 장착되어 있습니다. 자산에는 자동 가스 제어 (gas control) 가 제공되어 증착 가스 흐름을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한이 모델에는 셔틀 캐리어 (shuttle carrier) 가 있어서 기판을 빠르고 쉽게 옮길 수 있습니다. 또한 컴퓨터 제어 장비가 장착되어 있어 소프트웨어, 네트워크, 주변 장치 제어를 손쉽게 액세스할 수 있습니다. 이 시스템에는 질소 제거 기능도 있으므로 챔버의 스퍼터링 후 청소가 적절합니다. 결론적으로, ANELVA EVC-1501은 산업 및 연구 응용 프로그램 기판에서 박막 스퍼터링을위한 비용 효과적이고 신뢰할 수있는 솔루션을 나타냅니다. 인상적인 로드 락 챔버, 가변 제어 구역, 조정 가능 전원 증폭기, 자동 가스 제어, 셔틀 캐리어 및 컴퓨터 제어 장치로 인해 일반적인 스퍼터링 시스템과 구별됩니다. 이러한 모든 기능을 사용하면 비용 효율적인 고성능 스퍼터링 머신 (Sputtering Machine) 이 제공되는데, 이는 오늘날 까다로운 연구 및 산업 스퍼터링 (Sputtering) 요구 사항에 적합합니다.