판매용 중고 CANON / ANELVA E-800S #293830303

CANON/ANELVA E-800S 스퍼터링 장비는 다양한 생산 및 연구 응용 프로그램에 사용하도록 설계된 최첨단 박막 증착 도구입니다. 이 시스템은 빠른 기판 로딩을 위해 최대 8 개의 로드 잠금 장치 (load lock) 를 갖춘 자동 밀봉 챔버 설계를 사용합니다. 이 장치는 이온 보조 스퍼터링, 고밀도 마그네트론 스퍼터링, 반응성 스퍼터링, 펄스 DC 스퍼터링 등 가장 고급 스퍼터링 기술을 사용할 수 있습니다. CANON E-800S는 2 개의 주요 스퍼터링 시스템, 24 채널 저항 소스 및 18 채널 고밀도 마그네트론 소스를 갖추고 있습니다. 두 소스 모두 원하는 증착에 따라 다른 대상 재료 (target material) 를 장착 할 수 있으며, 더 복잡한 필름 아키텍처를 위해 함께 사용할 수 있습니다. 이중 및 삼중 이온 보조 스퍼터링은 ANELVA E-800S에도 등장하며, 이는 동시에 작동하는 2 개 또는 3 개의 이온 소스를 사용하여 임퍼링 이온의 에너지 증가, 기판 충전 감소 및 증착 균일성을 증가시킵니다. 이 기능을 사용하면 "다이아몬드 '와" 실리카' 계열 재료 등 기판을 입금하기 어려운 것을 포함하여, 거의 모든 재료를 최고 품질로 퇴적시킬 수 있습니다. 또한 E-800S는 동일한 고품질 박막을 유지하면서 증착율을 두 배로 늘리는 낮은 HiPIMS (High Power Impulse Magnetron Sputtering) 모드를 갖추고 있습니다. 이 기계의 다른 옵션으로는 손으로 적재 할 수있는 소스와 아르곤, 수소 또는 질소 가스가 정전식으로 결합 된 플라즈마 소스가 있습니다. 이러한 대체 증착 기술은 낮은 접착력과 우수한 균일성으로 높은 증착률을 제공 할 수 있습니다. CANON/ANELVA E-800S에는 직관적인 터치 스크린 인터페이스 (touch screen interface) 와 포괄적인 프로세스 및 도구 성능 모니터링을 위한 실시간 데이터 획득을 포함한 고급 컴퓨터 도구가 장착되어 있습니다. 에셋은 또한 챔버 매개변수의 자동 프로세스 제어 및 자동 교정을 제공합니다. 사용이 간편한 개방형 소프트웨어는 레시피를 손쉽게 저장, 처리, 생성합니다. 추가된 안전 (Safety) 기능으로서, 모델에는 선택적 인터록 (Interlock) 스위치가 포함되어 있는데, 이 스위치는 챔버를 열 때 소스의 우발적 활성화를 방지합니다. 전반적으로 CANON E-800S는 매우 균일하고 신뢰할 수있는 박막 증착을 제공 할 수있는 고도의 스퍼터링 장비입니다. 여러 소스와 결합된 다양한 자동 (automated) 기능을 통해, 이 시스템은 가장 까다로운 증착 요건에 사용될 수 있습니다. 연구 또는 산업 생산의 경우, ANELVA E-800S는 박막 증착을위한 안정적이고 효율적인 도구입니다.