판매용 중고 CANON / ANELVA E-402S #9188024

CANON/ANELVA E-402S는 다양한 기판에서 박막 증착을위한 고급 스퍼터링 장비입니다. 고성능 전자 기기 (HPD) 생산에 적합하도록 고급 기능과 견고한 성능을 제공합니다. CANON E-402S는 균일 한 필름 증착을 위해 4 피스의 평면 마그네트론 스퍼터링 헤드를 사용합니다. 또한 손쉬운 처리 및 정확성을 위해 자동 스퍼터 높이 조정기가 있습니다. 이 시스템은 또한 날카로운 스퍼터링 속도 (sputtering rate) 와 프로파일 제어 (profile control) 를 갖춘 정밀 필름 제어를 위한 이중 전압 펄스 전원 (pulse power) 기능을 갖추고 있습니다. ANELVA E-402S는 스테인리스 스틸로 구성된 높은 진공 챔버를 가지고 있습니다. 또한 전체 안전 제어를 위해 기반 전원 공급 장치, 독립 터빈 진공 장치 및 Vacuum Interlock Machine이 있습니다. 초음파 청소를위한 다양한 옵션과 우수한 온도 조절을위한 25 단계 기판 히터 (기판 히터) 를 제공합니다. 이 도구는 온도 모니터링, RF/DC 소형 스퍼터링, 편향 보정, 고속 프로세스 및 10 'mbar의 Ultra High Vacuum (UHV) 을 통해 최대 380 ° C의 최대 일반 공정 온도를 갖습니다. 또한 철저한 챔버 청소를위한 고급 여과 모델이있는 자동 챔버 클린 에셋 (auto-chamber clean asset) 이 있습니다. E-402S는 안정적이고 견고한 장비입니다. 우수한 전자 부품 제조에 적합하게 만드는 여러 가지 기능 (영문) 이 있습니다. 광범위한 매개변수 (parameter) 를 정확하게 모니터링할 수 있으며, 고성능 컴포넌트를 제조하는 데 필수적인 다양한 프로세스 (process) 기능을 제공합니다.