판매용 중고 CANON / ANELVA C-7730FH #9167770

CANON/ANELVA C-7730FH는 박막 증착을 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 도체, 반도체, 다양한 광학 물질에 이르는 다양한 박막 (thin film) 을 증착 할 수 있습니다. CANON C-7730FH 시스템의 핵심에는 음극이 있는데, 음극은 스퍼터링 프로세스를 구동하는 이온화 된 가스를 시작하는 데 사용됩니다. 이온화 된 이 "가스 '는 전기장 에 의해 가속 되어 표적 물질 로 향하게 된다. 일단 "이온 '이 표적 재료 에 부딪히면, 그 재료 를 탈착 시킨 다음 아래 에 원하는 기판 에 증착 시킨다. 아넬바 C-7730FH (ANELVA C-7730FH) 는 효율적인 스퍼터링 유닛 (Sputtering Unit) 으로 설계되었으며, 재료를 균일하게 예치하고 오랜 기간 동안 일관된 스퍼터링 된 재료 속도를 유지할 수 있습니다. C-7730FH 에는 다양한 기능이 있어 박막 증착에 편리하고 효과적입니다. 이 기계에는 대형 기판에 균일 한 필름을 증착 할 수있는 조정 가능한 회전 스퍼터 헤드 (rotating sputter head) 가 장착되어 있으며, 이 도구에는 표면 전자 결함을 줄이고 박막을 균질화하는 '스퀴지 방지 (anti-squeegee)' 기능이 장착되어 있습니다. 또한 높은 전력 공급 장치 (Power Supply) 를 통해 스퍼터링 전력을 증가시켜 더 빠른 생산률을 달성할 수 있습니다. 또 다른 실용적인 기능에는 특정 영역을 타겟팅하기위한 다양한 깔때기 모양이 포함됩니다. 에셋에는 온보드 컴퓨터 (On Board Computer) 가 포함되어 있으며, 전체 배치 주기 (목표 재료 로드 및 스퍼터 헤드 위치 지정) 에서 스퍼터링 매개변수 (Sputtering parameters) 및 레시피 제어 (Recipe Control) 에 이르기까지 전체 배치 주기를 제어합니다. 이 "컴퓨터 '는 또한 여러 가지 맞춤형 레시피 를 저장 할 수 있어서, 특정" 응용프로그램' 에 맞도록 "파라미터 '를 쉽게 조정 할 수 있다. CANON/ANELVA C-7730FH에는 다양한 진단 기능이 포함되어 있어 높은 수준의 품질 제어를 보장합니다. 여기에는 스퍼터링 파워 (sputtering power), 온도 (temperature) 및 챔버 압력 (chamber pressure) 과 같은 데이터를 감지하고 증착 그래프에서 신호를 분석하는 기능도 포함됩니다. 이로써 모델과 관련한 간단하고 효율적인 모니터링이 가능해지며, 기판이 정확하고 일관되게 보정되도록 하는 데 도움이 됩니다. 캐논 C-7730FH (CANON C-7730FH) 는 다양한 어플리케이션에 고품질의 박막 증착을 제공하도록 설계된 다양한 스퍼터링 장비입니다. 효율적인 생산률 (production rate) 을 제공하며, 기탁된 필름의 균일성과 균질성을 높이기 위해 설계된 다양한 기능을 갖추고 있으며, 온보드 컴퓨터에서는 레시피 커스터마이징 (Recipe Customization) 및 품질 관리 (Quality Control) 모니터링이 용이합니다.