판매용 중고 CANON / ANELVA C-7730FH #9167769

CANON/ANELVA C-7730FH는 기판의 다양한 재료의 두꺼운 필름을 코팅하도록 설계된 스퍼터링 시스템입니다. 증착을 위해 높은 진공실과 마그네트론 스퍼터링을 사용합니다. CANON C-7730FH는 응용 및 증착 재료에 따라 사용자 정의가 가능합니다. 다양한 유형의 마그네트론 각도를 허용하는 PCS (Programmable Coaxial System) 가 특징입니다. 또한 열 증발 원 (thermal evaporation source) 을 포함한 여러 증착원이 장착되어 다중 층 증착을 허용합니다. ANELVA C-7730FH는 고급 터보 분자 펌프 (TMP) 를 사용하여 챔버에 진공을 생성하여 스퍼터링 프로세스가 이루어질 수 있습니다. TMP는 2 x 10-3 Pa ~ 5 x 10-5 Pa까지의 다양한 압력을 달성 할 수 있습니다. 이 범위의 압력은 다른 방법으로 수행 할 수없는 다양한 유형의 증착 과정을 허용합니다. C-7730FH는 1nm에서 200nm 사이의 다양한 필름 두께를 만들 수 있습니다. 이것은 다른 전원 설정에서 스퍼터링 프로세스를 통해 달성 할 수 있습니다. PCS 는 "마그네트론 '을" 챔버' 내 에 다른 각도 와 위치 로 설정 할 수 있기 때문 에 "스퍼터링 '을 할 때 정확 한 양 의 제어 를 한다. CANON/ANELVA C-7730FH에는 고급 스퍼터 코팅 프로세스에 필요한 높은 수준의 분석 기능이 포함되어 있습니다. 분광계 (Spectrometer) 가 장착되어 필름의 구성을 측정 할 수 있습니다. 또한 석영 크리스탈 마이크로 밸런서 (Quartz Crystal Microbalancer) 가 장착되어 있으며, 퇴적 된 필름의 두께와 균질성을 측정 할 수 있습니다. 이 정보를 사용하여 스퍼터링 프로세스를 세밀하게 조정하여 필요한 필름 두께 (film thickness) 와 컴포지션 (composition) 을 만들 수 있습니다. 커스터마이징 가능한 기능의 정도가 높기 때문에, 다양한 어플리케이션에 대해 CANON C-7730FH 를 매우 조정할 수 있습니다. 반도체 장치, 광학 및 기계 부품, 기타 전자 관련 부품 (예: 광학 및 기계 부품) 과 같은 응용 분야에 사용하기 위해 다른 재료 구성으로 만든 두꺼운 필름을 증착 할 수 있습니다.