판매용 중고 CANON / ANELVA C-7150C #9107305

CANON/ANELVA C-7150C는 박막 증착 공정을 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 펄스 DC 마그네트론 스퍼터링 (Pulsed DC Magnetron Sputtering) 시스템이며 연구 개발 실험실 및 제조 산업에 사용하기에 적합한 소형 디자인이 특징입니다. 전체 범위의 스퍼터링 압력 제어 (Sputtering Pressure Control) 를 통해 빠르고 효율적인 프로세스를 최적화할 수 있습니다. CANON C-7150C의 챔버 바디 크기는 170x170x500mm이며 보트 또는 핀 유형 홀더에서 최대 14 개의 샘플을 수용 할 수 있습니다. 4 개의 다중 마그네트론, 1 개의 회전 가능, 2 개의 고정 및 1 개의 바이어스가 장착되어 있습니다. 회전 가능한 마그네트론 헤드 (magnetron head) 에는 조정 가능한 전극 장치가 포함되어 있으며, 이는 챔버 내에서 목표 최적화를 가능하게하며, 균일 한 필름 증착을 보장합니다. 기판 홀더는 내장 된 미세 제어 히터 (fine-control heater) 로 열적으로 조절되며, 생산 된 필름에서 뛰어난 균일성과 재생성을 가능하게합니다. ANELVA C-7150C의 제어 장치에는 이해하기 쉬운 사용자 인터페이스 (user interface) 가 장착되어 있어 스퍼터링 프로세스를 쉽게 구성하고 모니터링할 수 있습니다. 다른 기능으로는 빠른 챔버 대피를위한 고속 진공 펌프, 아크 감소 가스 흐름 조절 (호의 영향을 쉽게 받고있는 재료), 추가 프로세스 제어 및 모니터링을위한 소프트웨어 패키지 (옵션) 인 온보드 분석기 (Onboard Analyzer) 가 있습니다. 이 기계는 낮은 공정 온도 (process temperature) 에서 작동하여 열에 민감한 물질의 손상을 방지하며, 낮은 오염 속도를 제공합니다. 또한, 넓은 주파수 범위 및 조절 가능한 전원 공급 장치를 통해 저밀도 (low-density) 및 고밀도 (high-density) 재료에 모두 사용할 수 있습니다. 전반적으로, C-7150C는 안정적인 스퍼터링 증착 프로세스에 대한 포괄적 인 기능 세트를 제공하며, 균일 한 박막 코팅에 대한 정확한 전력 출력, 균일성, 안정성을 활용합니다. 항공 우주, 자동차, 광전자, 의료, 식품 가공 등 고품질 코팅이 필요한 산업에 이상적입니다.