판매용 중고 CANON / ANELVA C-7100GT #9293803

CANON/ANELVA C-7100GT 스퍼터링 장비는 여러 스퍼터링 응용 프로그램에 사용할 수있는 고급 생산 도구입니다. 이 시스템은 금속, 유전체 필름을 다양한 기판에 배치하도록 설계된 고성능, 경제적인 스퍼터링 시스템입니다. CANON C-7100GT에는 ECR (Electron Cyclotron Resonance) 소스가 장착되어 있어 표준 스퍼터링 프로세스보다 빠른 증착이 가능하며, 영화 균일성 및 증착률이 높습니다. ANELVA C-7100GT는 단일 진공 챔버 내에 배치 된 4 개의 스퍼터링 소스 챔버로 구성된 4 챔버 유닛입니다. 각 스퍼터링 소스 챔버 (sputtering source chamber) 는 동종 필름으로 코팅해야 할 표면에 대해 매우 균일 한 대상 재료 레이어를 생성하도록 설계되었습니다. 또한 최대 200mm 크기의 대형 기판을 수용 할 수있는 넓은 목표 영역이 있습니다. 여기에는 스퍼터링 프로세스 (sputtering process) 동안 고도의 미세 튜닝이 가능한 고정밀 X-Y 모션 머신과 안정적인 프로세스 환경을 관리하고 유지하는 데 도움이 되는 자동화된 환경 제어 도구 (Environmental Control Tool) 가 포함됩니다. C-7100GT는 아르곤, 크립톤, 제논 등 다양한 스퍼터링 가스를 활용하여 다양한 진공 증착 필름을 생성 할 수 있습니다. 고주파 ECR 발전기를 사용하여 저온에서 높은 증착률을 유지하며, 이로 인해 코팅 균일성이 향상됩니다. 또한, 큰 온도 조절 범위는 CANON/ANELVA C-7100GT를 매우 박막 증착 및 특수 코팅과 같은 특수 응용 분야에 이상적입니다. 에셋은 또한 fail-safe shutdown model, on-board data logging equips, operating temperature and pressure control system 등 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 전반적으로 CANON C-7100GT Sputtering Unit은 스퍼터링 응용 프로그램을 위해 안정적이고 효율성이 높은 도구입니다. 이 기계는 ECR 소스, 높은 증착율, 큰 목표 영역, 넓은 온도 범위를 가지고 있으며, 제품 표면 및 부품 용 금속 및 유전체 필름을 생산하는 데 이상적입니다. 장기적, 대용량 생산 및 특수 코팅 어플리케이션 모두에 적합한 경제적인 선택입니다.