판매용 중고 CANON / ANELVA C-7100GT #9281807
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판매
ID: 9281807
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2011
PVD System, 12"
(3) Chambers:
Chamber 1: TiN
Chamber 2: TiN
Chamber 3: SiO2 ETCH (A-CH)
Pre-clean chamber
Missing parts:
Qty / Part number / Description
(1) / - / D-Chamber
(4) / 99009-58901 / DC5KW Plasma generators Dual, QIP
(4) / 1055-08698 / Stages, RF 2PVD
(8) / 1055-17508 / Sheet, carbon stages
(4) / 1038-05492 / Quartz rings, PY362
(1) / - / D-Chamber rack
(1) / - / Cable
(4) / 1042-17090 / 25V 250W Heaters
(1) / 9007-58377 / Termo couple, RD310
(3) / 0111-90397 / Multi navi
(3) / N50023210 / Ion gauge controllers
(9) / N12004545 / Lamp heater powers
(3) / 9006-86546 / RF Power supplies 2KW (AX-20003A)
(1) / 9001-14094 / LL / Slit valve
(3) / 9001-13959 / PVD Slit valves
(4) / N20208864 / Z, Sensor controllers
(12) / 1042-17090 / 25V 250W heaters
(3) / 9007-58377 / Thermo couples, RD310
(3) / N50023131 / Stabil-ion gauges
(3) / N50025919 / Baratron gauges
(5) / - / Brakets
(20) / 1063-41277 / PLCs
(20) / 1071-76104 / PLCs
(20) / 1072-27727 / PLCs
(4) / 9007-60358 / Thermo couple controllers
(1) / 9007-61508 / CCD
(4) / 9007-58822 / CCD Cameras
(4) / N20208711 / Z, Sensor
(1) / 9014-41321 / TR Robot EE
(1) / 9009-87803 / EFEM Robot EE
(9) / - / Destrubting sheets
(1) / 1042-08203 / Lamp heater assy, connect
(1) / 1037-34502 / Heater base
(3) / 1042-17090 / 250W 25V Heaters, (2) assys
(1) / 1042-17171 / Cable, heater assy
(1) / 1023-20960 / Shutter shaft cover
(1) / 1037-27377 / Stage, RF (2) PVD
(8) / 1055-08698 / Springs, hold stage
(1) / 1055-17427 / Quartz ring, PY362
(3) / 1038-05492 / Quartz RPIN, L15xD5
(2) / 1046-92614 / Bolt, location al203
(3) / 1057-53934 / Stopper pins
(16) / 1035-18922 / H3 x 8, AG
(20) / N31000015 / S SUS304 WA x 3 Flat washers
(2) / TMF-403M / RF 2PVD
(10) / - / Shield adaptors
(10) / - / HE Elbows
(2) / - / Power cables
(4) / - / LID Lamp heaters
(1) / - / Maintenance USB port
(3) / - / PLC Racks
(1) / - / Heater connection box
(1) / - / SMKE Sensor
(1) / - / EMO
2011 vintage.
CANON/ANELVA C-7100GT 스퍼터링 장비 (Sputtering Equipment) 는 다양한 크기의 기판에 등각 박막을 배치하는 데 사용할 수있는 다용도 및 고효율 스퍼터링 시스템입니다. 저항성 (resistive) 과 전자색 (electron beam) 공정, 그리고 여러 가지 필름 유형, 두께 및 조성을 스퍼터링할 수 있습니다. CANON C-7100GT는 2 개의 반응성 (마그네트론) 과 1 개의 직류 (DC) 스퍼터링 챔버가 장착 된 소형 2 단계 유닛으로 구성됩니다. 아넬바 C-7100GT (ANELVA C-7100GT) 는 더 높은 전력 공정을 위해 설계되었으며, 한 번에 최대 2 개의 필름을 배치 할 수 있으며, 금속 및 유전체의 교대 층, 복잡한 오버레이어 및 높은 종횡비 구조. C-7100GT는 모든 프로세스 매개변수를 정확하게 제어하기 위해 완전 프로그래밍 가능한 DC 전원 공급 장치 및 솔리드 스테이트 릴레이를 갖추고 있습니다. 이 기계는 마그네트론 스퍼터링 응용 프로그램을위한 RF 전원 공급 장치 (옵션) 를 장착 할 수도 있습니다. 스퍼터링 스테이션 외에도 CANON/ANELVA C-7100GT에는 스퍼터링 챔버에서 서브트레이트를 로드/언로드하기위한 MCT (Multi Chamber Substrate Transfer Tool) 도 포함되어 있습니다. MCT (MCT) 는 기판을 적시에 변경하는 한편, 챔버의 편리한 기판 전달 및 가열도 허용합니다. CANON C-7100GT는 또한 더 정확한 목표, 높은 증착률 및 코팅의 더 큰 균일성을 위해 대용량 터보 소스를 가지고 있습니다. 안전성 측면에서, ANELVA C-7100GT는 진공 연동 에셋을 가지고 있으며, 이는 챔버가 제대로 대피하지 않은 동안 처리 챔버가 열리지 않도록 방지합니다. 이것 은 "에르메테 '로 밀봉 된 방 과 함께, 가동 중 에 위험 한" 가스' 노출 위험 이 없도록 한다. 또한 C-7100GT 에는 장비와 운영자 모두를 보호하기 위한 통합 비상 정지 (Emergency Stop) 버튼과 열 모니터링 모델이 있습니다. 결론적으로 CANON/ANELVA C-7100GT 스퍼터링 장비 (Sputtering Equipment) 는 등각 박막 및 복합 오버레이어를 기판에 증착시키는 데 이상적인 효율적이고 다용도 스퍼터링 시스템입니다. 이 제품은 2 개의 반응성 및 1 개의 DC 스퍼터링 챔버와 Multi Chamber Substrate Transfer Unit 및 정확한 목표 제어 및 높은 증착률을 위해 고용량 터보 소스를 갖추고 있습니다. 이 기계에는 진공 연동 도구, 밀봉 된 챔버, 비상 정지 버튼 등 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다.
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