판매용 중고 CANON / ANELVA C-7100 #9154703
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CANON/ANELVA C-7100은 고품질의 박막 증착 기능으로 알려진 고급 물리적 증기 증착 장비입니다. 이 시스템은 다양한 기능으로 이중 음극 마그네트론 스퍼터링 (magnetron sputtering) 을 사용하여 광범위한 애플리케이션에 적합합니다. CANON C7100의 본체에는 챔버가 포함되어 있으며, 내부에 다양한 구성 요소가 있습니다. 이 챔버 (chamber) 는 질소 가스가 단단하여 반응의 효율적인 부산물 추출로 인해 빠른 증착 과정을 가능하게한다. 이온화 게이지 (ionization gauge) 는 작업 조각 주위에 이온 구를 유지하여 높은 표면 순도를 보장합니다. 또한 약 1x10 ^ -5 Torr 이상의 압력으로 챔버를 대피 할 수있는 터보 분자 펌프가 특징입니다. 이 장치는 다양한 물질을 쉽게 처리하도록 설계되었습니다. 표준 구성은 순수한 금속, 합금, 화합물, 세라믹 재료 및 유기 물질을 증착시키는 데 사용됩니다. 또한, 개폐식 플랫폼을 사용하면 프로세스에 대한 고해상도 Top-View 관찰이 가능합니다. 다양한 설정도 사용할 수 있으므로 양극 (anode) 및 음극 (cathode) 매개변수를 독립적으로 조정할 수 있습니다. 아넬바 C 7100 (ANELVA C 7100) 은 작업 조각의 필름 배치를 제어하는 프로세스와 온/오프 (on/off) 명령과 사이클 스타트 제어 (cycle start control) 와 같은 원격 제어 기능을 내장하고 있습니다. 또한 냉각 (cooling) 및 난방 기능 (heating function) 도 포함되며, 챔버에서 일정한 공정의 유지에 중요한 온도 조절이 가능합니다. 이 시설은 기판, 증착 모드 (deposition mode) 및 공정 온도의 유형에 따라 증착 과정을 미세하게 조정할 수 있습니다. 전반적으로, ANELVA C-7100 기계는 다양한 물질의 박막 증착에 적합한 고급적이고 신뢰할 수있는 스퍼터링 도구입니다. 뛰어난 품질과 정확한 필름 (film deposition) 은 물론 다양한 매개변수의 효율적인 처리 (handling) 를 통해 업계에서 매우 까다롭고 신뢰할 수있는 도구입니다.
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