판매용 중고 CANON / ANELVA C-7010 #9379072

CANON/ANELVA C-7010은 박막 제작에 사용하도록 설계된 고급 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 음극 호 증발 및 마그네트론 스퍼터링 기술을 사용하여 도자기, 금속, 반도체와 같은 기판에 코팅을 증착시킵니다. 캐논 C-7010 (CANON C-7010) 은 지정된 재료를 다양한 두께 (thickness) 의 기판에 균일하게 적용 할 수 있으며, 많은 중요한 증발 과정이 조정 될 수 있습니다. 이 장치는 표준 Turbocuspision Cathodic Arc Source를 사용하여 예리한 편견과 매우 높은 증착률을 제공 할 수 있습니다. 증착 과정에서 균일성 향상, 방출 사고 감소 등을 위해 고급 프리 퍼터링 머신이 포함되어 있습니다. 기질 가열원은 세라믹 적외선 라디에이터 (ceramic infrared radiator) 이며, 최대 500 ° C의 가열이 가능하여 고온 강착 및 빠른 열 아닐링과 같은 공정을 허용합니다. 이 도구와 함께 사용할 수 있는 추가 기능으로는 자동 두께 모니터 (Auto Film Thickness Monitor), 기판 크기와 두께의 차이를 보완하는 자동 피쳐, 기판 양쪽에 필름을 배치하는 백사이드 스퍼터링 소스 (backside sputtering source) 가 있습니다. 에셋은 또한 기판 조작이 가능하여 복잡한 기판 형태 및 크기를 허용합니다. 또한 ANELVA C-7010에는 고급 제어 소프트웨어 패키지가 포함되어 있어 작업 설정, 운영 모니터링, 데이터 로깅을 위한 사용자 PLC 및 SCADA 수준 기능을 제공합니다. 포함 된 타이트 루프 챔버 (tight-loop chamber) 제어 소프트웨어는 모델을 마모와 찢어짐으로부터 보호하는 데 도움이되며, 필름 증착 과정이 효과적이고 반복 가능하도록 보장합니다. 마지막으로, C-7010에는 긴급 정지 (Emergency Stop) 와 같은 안전 기능과 효율적인 공기 정화를위한 긴급 배기 장비가 포함되어 있습니다. 이 시스템은 고급 클린 룸 (cleanroom) 표준 인증을 받았으며, 기존 클린 룸 프로토콜과의 호환성을 위해 정기적으로 테스트됩니다.