판매용 중고 CANON / ANELVA 7100 GT #9398911

CANON/ANELVA 7100 GT는 다양한 기판에 얇은 필름을 빠르고 효율적으로 배치하도록 설계된 스퍼터링 장비입니다. 최대 4 개의 타겟에 액세스하고 최대 8 인치 직경의 기판을 처리 할 수있는 멀티 타겟 플랫폼을 사용합니다. 또한 스카치 테이프 마스킹 (scotch tape masking) 과 섀도 효과 마스킹 (shadow effect masking) 을 통해 대용량 기판을 처리할 수 있습니다. CANON 7100 GT의 주요 구성 요소에는 전자 챔버, 진공 챔버, 공정 컨트롤러, 동요 퍽 및 배기 챔버가 포함됩니다. 전자 방은 스퍼터링에 필요한 고전압 제어를 담당합니다. 진공 챔버 (vacuum chamber) 는 스퍼터링 (sputtering) 이 일어나는 영역이며 표적과 기질을 포함합니다. 또한, 진공실에는 냉음극 (cold cathode) 과 자석 전환 (switched magnet) 이 장착되어 균일 한 증착을 보장합니다. 프로세스 컨트롤러는 스퍼터 (sputter) 프로세스에 대한 제어 데이터를 제공하고 장치를 모니터링하여 제대로 작동합니다. 동요 퍽은 동요, 포지셔닝 및 카세트 로딩을 지원합니다. 마지막으로, 배기 챔버는 스퍼터링의 가스 부산물을 필터링합니다. ANELVA 7100 GT는 알루미늄, 크롬, 금, 티타늄과 같은 물질뿐만 아니라 이러한 원소로 구성된 합금을 증착 할 수 있습니다. 이 재료 의 증착율 은 "오퍼레이션 '동력 을 조정 함 으로써 원하는 효과 에 맞도록 변경 될 수 있다. 또한, 스퍼터링 공정 온도는 실온과 350 ~ 400 ° C 사이의 어디에서나 설정하여 증착 품질을 최적화 할 수 있습니다. 7100 GT는 또한 다양한 사용자 요구를 충족하기 위해 다양한 운영 모드를 제공합니다. 이것은 수동 (manual) 모드로, 사용자가 전체 스퍼터링 프로세스를 쉽게 제어 할 수 있습니다. 전체 프로세스를 자동화하고 넓은 영역 필름에 이상적인 프로그램 모드 (program mode); 및 소형 영역 필름 및 기판 포지셔닝에 이상적인 반자동 모드. 또한, 시스템을 원격 모니터링 및 매개변수 제어를 위해 컴퓨터에 연결할 수도 있습니다. 전반적으로 CANON/ANELVA 7100 GT는 다양한 기판에서 박막 증착에 이상적인 고급 스퍼터링 도구입니다. 다중 대상 플랫폼, 가변 전력 및 온도 설정, 작동 모드, 컴퓨터 링크 및 배기 챔버 (Exhaust Chamber) 는 연구 및 산업 응용 프로그램 모두에 적합한 선택입니다.