판매용 중고 CANON / ANELVA 1060 #9155414

CANON/ANELVA 1060은 박막 증착에 사용되는 스퍼터링 장비입니다. 캐논 1060 (CANON 1060) 은 반응성 스퍼터링 (sputtering) 이 가능한 충동 스퍼터링 시스템으로 직경이 최대 8 인치인 크고 작은 기판을 모두 처리 할 수 있습니다. 아넬바 1060 (ANELVA 1060) 은 기존의 전력뿐만 아니라 자기 (magnetic) 에서 작동 할 수 있으며, 뛰어난 반복성으로 광범위한 에너지 수준에 걸쳐 안정적인 독점 에칭 및 필름 증착을 제공합니다. 1060 은 안정적이고 효율적인 DC 전원 공급 장치 (DC-power supply) 를 사용하며, 전원 공급 장치 또는 기판 크기에 관계없이 일정한 전압을 유지할 수 있습니다. 즉, CANON/ANELVA 1060을 원하는 증착 조건에 맞게 쉽게 조정할 수 있습니다. CANON 1060에는 압력 측정 장치 (pressure-measuring unit) 와 가스 흐름 제어 장치 (gas flow-control machine) 가 장착되어 있어 정확한 압력 및 가스 흐름 입력이 가능합니다. 이렇게 하면 필름 밀도, 균일성 (uniformity), 퇴적된 레이어 간격과 같은 스퍼터링 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 아넬 바 (ANELVA) 1060에는 또한 넓은 표면적에서 증착 균일 성을 개선하는 독특한 플라즈마 감금 도구가 있습니다. 이 자산은 자석을 사용하여 진공 챔버 (vacuum chamber) 내에 자기장을 만듭니다. 이는 플라즈마를 제어하고 균일 한 이온 밀도를 제공하는 데 사용됩니다. 또한 1060은 저압, 고압, 모노/다중 주파수 스퍼터링 등 다양한 작동 모드를 사용할 수 있습니다. 이를 통해 증착 프로세스 (deposition process) 의 유연성을 높일 수 있으므로 다양한 업종에 걸쳐 광범위한 애플리케이션을 사용할 수 있습니다. 캐논/아넬 바 (CANON/ANELVA) 1060에는 환경 센서가 장착되어 있으며, 이 센서는 챔버의 주변 온도를 모니터링하고 원치 않는 배출을 테스트할 수 있습니다. 또한 캐논 1060 (CANON 1060) 은 챔버 내부의 안전한 환경을 모니터링하고 유지하여 깨끗하고 안전한 운영을 보장하도록 설계되었습니다. 전반적으로 ANELVA 1060 (ANELVA 1060) 은 다양한 기판에 걸쳐 일관되고 균일 한 증착을 제공하는 고급적이고 신뢰할 수있는 스퍼터링 모델입니다. 다양한 운영 모드 (Operating Mode) 를 출력하는 능력은 광범위한 응용프로그램을 가능하게 하는 반면, 환경 모니터링 장비는 1060 을 안전하고 안전한 환경에서 운용할 수 있다는 것을 의미합니다.