판매용 중고 CANON / ANELVA 1060 #9155413

CANON/ANELVA 1060은 연구 구현을 위해 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. 이 독특한 AAM (Abrupt Angle Magnetron Sputtering) 시스템을 통해 연구원들은 원하는 재료의 초박막 (ultra-thin film) 을 정확성과 반복성으로 기판에 배치 할 수 있습니다. 이 장치는 소스, 대상, 기판 및 제어 모듈로 구성된 완전히 닫힌 LT 스퍼터 챔버 (LT sputter chamber) 를 사용하며, 다양한 크기와 모양으로 재료의 양적 증착이 가능합니다. 또한 자기 (magnetic) 또는 평면 (planar) 구성을 스퍼터링하여 원하는 배치 프로파일을 얻을 수 있습니다. 이 기계는 ABRUPT 유형의 AC 플라즈마 소스를 갖추고 있으며, 서로 다른 재료를 빠르고 쉽게 전환 할 수 있습니다. 이러 한 자기 "플라즈마 '원 과 평면 형상 의 결합 은 재료 가 기판 에 균등 하고 일관성 있는 방식 으로 배치 되도록 한다. CANON 1060의 독특한 설계로 증착 프로세스를 더욱 효과적으로 제어할 수 있습니다. 2 채널 전원공급장치로 음극전위를 정확하게 조절할 수 있다. 이른바 "스퍼터 (Sputtering) '다. 이 도구에는 조절 가능한 RF 전원 공급 장치 (예금 필름의 균일성 향상) 도 있습니다. 또한, 에셋에는 대기 중 입자 오염을 제거하여 스퍼터링 된 필름 (sputtered film) 의 균일성을 개선하도록 설계된 활성 필터 (active filter) 가 장착되어 있습니다. 전반적으로, ANELVA 1060은 원하는 특성과 균일성을 가진 박막 (thin film) 을 제조 할 수있는 고급 스퍼터링 모델입니다. 산업에서 과학에 이르기까지 다양한 연구 응용 프로그램 (research application) 을 위해 설계되었으며, 신뢰할 수 있고 신뢰할 수있는 스퍼터링 장비를 찾는 사람에게 이상적인 선택입니다. 혁신적인 디자인을 통해 증착 과정을 정확하게 제어하여 일관된 고품질 필름을 보장합니다. 1060 (1060) 은 연구 또는 생산 요구에 맞는 첨단 스퍼터링 시스템을 찾는 사람에게 이상적인 선택입니다.