판매용 중고 CANON / ANELVA 1060 #9135855

CANON/ANELVA 1060 스퍼터링 장비는 반도체 처리를 위해 샘플에 두껍고 균일 한 박막을 만들도록 설계된 고성능 시스템입니다. 이 단위는 물리적 증기 증착 방법 인 스퍼터링 (sputtering) 을 사용하여 가공소재의 표면에 얇은 층을 배치합니다. 캐논 1060 (CANON 1060) 에 사용 된 음극은 샘플 표면을 열 에너지로 폭격하고, 표면을 원자로 만들고, 원하는 박막을 만드는 가스 방전을 생성합니다. ANELVA 1060은 4kW DC 전원 공급 장치로 구동되는 단일 마그네트론 스퍼터링 도구입니다. 공정 챔버 (Process Chamber) 와 지원 챔버 (Support Chamber) 를 수용하는 2 개의 세라믹 케이스와 간단한 샘플 액세스를 위한 최상위 로딩 기능이 있습니다. 가공 챔버는 최대 400C의 온도에서 작동 할 수 있으며 최대 1 Pa의 압력을 달성 할 수 있습니다. 최대 전압은 3500 V, 주파수 범위는 5-250 kHz입니다. 이 시스템에는 또한 100-1000 와트의 범위와 6 단계 전원 공급 장치를 갖춘 가변 RF 대상 전원 공급 장치가 포함되어 있습니다. 1060에는 다양하고 신뢰할 수있는 도구가 있습니다. 여기에는 자동화된 대상 회전 모터 (Target-rotation motor) 가 포함되어 있으며, 여러 대상을 스퍼터링하기 위해 여러 자석을 작동하도록 쉽게 구성 할 수 있습니다. 이 도구에는 PVD 프로세스에 필요한 제어 대기 및 입자 모니터링 에셋을 제공하여 증착실을 오염시키는 서브 미크론 입자 (sub-micron particle), 처리 중 샘플을 보관하는 정전기 척 (ESC) 및 측정/제어 장치가 내장되어 있습니다. 온도 및 압력과 같은 매개 변수를 측정하고 기록하는 측정/제어 장치. CANON/ANELVA 1060에는 DC 전원 공급 장치의 자동 차단 스위치, 비상 정지 버튼, 현재 센서 안전 차단 회로, 내장 비상 가스 차단 밸브 등 다양한 안전 기능이 있습니다. 이러한 안전 측정 (Safety Measure) 은 사용자가 손상되지 않도록 보호하고 모델의 기능을 제대로 보장하는 데 도움이 됩니다. 전반적으로, CANON 1060은 강력하고 신뢰할 수있는 스퍼터링 장비로, 반도체 처리를 위해 기판에 얇은 층의 재료를 만드는 다재다능하고 효율적인 수단을 제공합니다. 정밀한 박막 증착 (Thin-Film Deposition) 과 성능 (Performance) 을 가능하게 하는 많은 기능이 있으며, 내장 안전 조치로 안전하고 사용이 간편합니다.