판매용 중고 CANON / ANELVA 1060 SV2+1 #9210357

CANON 1060 SV2 + 1은 시장에서 가장 발전된 스퍼터링 시스템 중 하나입니다. 초고속 필름 성장 및 증착 프로세스를 위해 설계되었습니다. 2 개의 음극과 1 개의 도가니 가공을 사용하는 멀티 소스 스퍼터링 장비입니다. 두 음극은 자기 (MP) 또는 평면 (PP) 유형일 수 있습니다. 상승 된 강하 도가니 (descum crucible) 는 시스템이 단일 사이클에서 다른 재료를 가진 기판의 양면을 코팅 할 수있게한다. 1060 SV2 + 1은 디스플레이, 반도체, 태양 광 발전 (PV) 및 광전자 산업을 포함한 다양한 응용 분야를 갖추고 있습니다. 두께, 컴포지션, 레이어 프로파일에 대해 균일하고 정확하게 제어할 수 있는 서피스용 멀티 레이어 필름 스택 (multi-layer film stack) 의 복잡한 패턴을 스퍼터링할 수 있습니다. 이 장치는 또한 질화물 필름의 증착에 특히 적합합니다. 1060 SV2 + 1은 고급 현장 모니터링 및 제어 시스템 (in-situ monitoring and control systems) 을 사용하여 전체 증착 과정에서 기판의 품질과 무결성을 유지합니다. 통합 폐쇄 루프 머신을 사용하여 압력, 온도, 전력, 전압, 전류 등 다양한 기판 매개변수를 모니터링하고 제어합니다. 이 도구에는 기판의 고해상도 이미지 (high-resolution image) 를 캡처하고 신속하고 정확한 프로세스 조정을 통해 균일성과 재생성을 보장하는 고급 비전 (advanced vision) 자산도 있습니다. 이 모델에는 자동 로드 잠금 (automated load lock) 이 포함되어 기판 교환과 프로세스 단계 사이의 작업 챔버 오염을 줄입니다. 수동 개입 및 스텝 퍼지 (step purge) 를 방지함으로써 로드 잠금 (load lock) 에서 증착실 (deposition chamber) 로의 깨끗하고 빠른 전송을 보장합니다. 1060 SV2 + 1은 또한 저온 스퍼터링 프로세스 (옵션) 를 제공합니다. 이 프로세스는 에치 후 (post-etch) 클리닝, 고해상도 (high-resolution) 패턴화 및 저온 처리가 필요한 기타 단계에 사용할 수 있습니다. 전반적으로 ANELVA 1060 SV2 + 1은 정확한 제어, 광범위한 어플리케이션, 현장 모니터링 및 제어 시스템으로 인해 많은 업계에서 널리 사용되는 고성능 스퍼터 장비입니다. 다양한 소재와 기판 크기에 대해 빠르고, 효율적이며, 안정적으로 처리할 수 있습니다. 이 시스템은 우수한 결과를 제공할 수 있으며, 모든 증착 과정에 적극 권장됩니다.