판매용 중고 CANON / ANELVA 1051 #9389730

CANON/ANELVA 1051은 PVD (physical vapor deposition) 에 사용되는 업계 최고의 스퍼터링 증착 장비입니다. 고속 자기 타입의 공기 베어링 스핀들 (air-bearing spindle) 을 갖춘 단일 대상 시스템으로, 넓은 영역과 기판에서 고효율적이고 균일 한 코팅이 가능합니다. 이 장치에는 10 개의 쿼츠 대상 홀더, 그래픽 운영자 인터페이스, 자동 프로세스 제어 시스템 및 O2, CO2, Ar 및 Nitrogen을 포함한 다양한 가스 제어 구성이있는 고급 PLC (programmable logic controller) 가 장착되어 있습니다. CANON 1051은 최대 400 nm/min의 빠른 스퍼터 속도와 최대 2000 v의 목표 전압을 달성 할 수 있습니다. 이로 인해 알루미늄, 스테인리스 스틸 및 티타늄과 같은 기판에 이상적입니다. 즉, 후퇴된 타겟이 있는 2 단계 프로세스를 제공하여 재료와 가스를 신속하게 전환하여 특정 성능 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 이 기계는 완전히 자동화되었으며, 숙련된 운영자는 반복 가능하고, 매우 정확한 프로세스를 달성 할 수 있습니다. ANELVA 1051에는 0-3000 와트에서 사용자 정의 할 수있는 조정 가능한 전원 공급 장치 및 주파수 범위가 있습니다. 압력, 가스 흐름, 냉각 스핀들 온도와 같은 추가 프로세스 매개 변수를 추가로 사용자 정의할 수 있습니다. 저진공 압력 모니터링, 자동 압력 차단, 온도 조절, 냉각 (water-cooling) 등의 안전 기능으로 프로세스가 위험 없이 수행됩니다. 또한 프로세스 결과에 대한 일반적인 모니터링을 위해 디지털 출력이 제공됩니다. 결론적으로, 1051 은 안정적이고, 정확하며, 안전한 스퍼터링 툴로서, 사용자가 짧은 시간 내에 매우 효과적인 결과를 얻을 수 있게 해 줍니다. 반도체, 평면 패널 디스플레이 (Flat Panel Display) 및 태양 전지 제조에 널리 사용되는데, 이는 정교하고 고급 기능으로 인해 사용됩니다.