판매용 중고 BUHLER / LEYBOLD OPTICS Pegasus #9350702
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ID: 9350702
PVD Sputtering system
(2) MAGNETRON Cathodes for DC and MF Sputter
Ion source: Gpi PPALS 203
(2) Dis 2000V Chambers
(2) HUTTINGER Truplasma DC3050 Electronics
ADVANCED ENERGY Pinnacle DC Power supply
(6) SHIMADZU EI-D 303M Pump controllers
(2) ADL GSM 300 / 500 Power supplies
Spare parts.
BUEHLERBUHLER/LEYBOLD OPTICS Pegasus는 광학 부품 및 광학 코팅을위한 고품질 박막 생산을 위해 설계된 강력한 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 2 개의 독립적 인 목표를 가진 고출력 DC 스퍼터 이온 소스 (High Power DC Sputter Ion Source) 를 기반으로하여 다양한 필름 구성을 가능하게합니다. 통합 가변 전원 공급 장치 (integrated variable power supply) 는 스퍼터링 매개변수를 정확하게 제어하여 사용자가 증착 프로세스를 최적화 할 수 있도록 합니다. 뿐 만 아니라, 이 장치 는 진공실 내부 의 압력 을 정확 히 제어 할 수 있게 해 주며, 이것 은 저압 "스퍼터링 '과정 에 이상적 이다. 기계는 또한 고급 기판 가열 도구 (advanced substrate heating tool) 로 설계되었으며, 모든 지점에서 정확한 기판 온도 제어를 위해 균일 한 가열을 제공합니다. 또한 자산의 고급 (Advanced) 설계를 통해 샘플 처리를 쉽고 안전하게 액세스할 수 있습니다. BUHLER Pegasus는 또한 멀티 축 빔 스티어링 메커니즘을 특징으로하여 스퍼터링 각도를 완전히 제어 할 수 있습니다. 또한, 이 모델은 대규모 뷰 창 (large viewing window) 으로 설계되어 사용자는 배치 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. BUEHLERLEYBOLD OPTICS Pegasus 장비는 저비용 운영, 높은 신뢰성, 인체 공학적 인터페이스 등 다양한 이점을 제공합니다. 또한, 시스템은 높은 수준의 자동화 (automation) 를 통해 설계되었으며, 사용자는 직관적으로 증착 프로세스를 제어 할 수 있습니다. 전반적으로 BUEHLERPegasus 스퍼터링 장치는 광범위한 광학 코팅 응용 분야에 이상적인 솔루션입니다. 이 기계는 정확성과 유연성을 제공하며 정확하고 안정적인 박막 제작을 위해 설계되었습니다. 이 제품은 강력한 고성능 스퍼터링 (Sputtering) 툴로서 복잡한 광 코팅 (Optical Coating) 의 증착에 필요한 제어 및 자동화 기능을 제공합니다.
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