판매용 중고 BOSCH VS24C #9097913
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ID: 9097913
RF Magnetron Deposition System
Chamber: 24" dia x 12" H
Dual 19" instrument rack
CTI Cryo-Torr 8 Cryopump, side mounted, high conductance valve
CTI 8300 Compressor with 8001 controllers
RF power supply: 2kW, matching system as bias
(1) 14" Magnetron source with R match system, Al2O3 target
Vacuum gauges valve and process control systems
Temperature and thickness control
Electro pneumatically actuated valves
VCS vacuum system controller provides automatic valve sequencing, pressure readout, and executive control of process
VSC can sense analog and digital signals, RS-232.
보쉬 VS24C (BOSCH VS24C) 는 다양한 박막 증착 응용 프로그램에 사용하도록 설계된 스퍼터링 시스템 그룹입니다. 이 시스템은 알루미늄, 크롬, 실리콘, 티타늄, 몰리브덴, 텅스텐과 같은 얇은 층의 물질을 기판 및 기타 표면에 침전시키는 데 사용될 수 있습니다. 이 시스템에는 각각 직류, 펄스 편광 DC 및/또는 RF 신호를 사용하는 2 개, 4 개 또는 8 개의 고전원이 있습니다. 이 장비는 또한 정밀 박막 증착을위한 고급 프로세스 제어를 특징으로합니다. 각 소스에 대해 독립적 인 전력 제어를 자랑하여 정확하고 반복 가능한 증착을 허용합니다. 또한, 멀티 건 (multi-gun) 기능을 사용하면 단일 기판에 다른 구성의 폴리 레이어 박막 (polylayer thin film) 을 배치 할 수 있습니다. 이렇게 하면 다른 레이어를 생성할 때 정밀도가 높아집니다. 가공 챔버는 균일하고 균일 한 증착 환경을 제공하도록 설계되었습니다. 외부 진공 펌프, 매니 폴드 및 기타 보조 시스템에 쉽게 연결할 수있는 진공 상호 연결 매니 폴드 (vacuum interconnection manifold) 가 특징입니다. 따라서 빠르고 효율적인 설치 및 구성이 가능합니다. 또한, 터보 분자 펌프가 특징이며, 이는 높은 증착실 압력과 더 빠른 증착 시간을 허용합니다. VS24C는 일관된 성능을 제공하는 것 외에도 손쉬운 운영 기능을 제공합니다. 이 시스템에는 프로세스 매개변수 및 소스 설정을 쉽게 모니터링할 수 있는 디지털 LCD 터치스크린 디스플레이가 있습니다. 또한, 빠른 매개변수 입력 및 리콜 기능은 스크립팅을 단순화하고 유연성을 높이도록 설계되었습니다. 전반적으로 BOSCH VS24C는 강력하고 다재다능한 스퍼터링 장치입니다. 고급 프로세스 제어 (Process Control), 증착 환경 (Deposition Environment), 사용자 친화적 제어 (User-Friendly Control) 를 통해 다양한 박막 증착 응용 프로그램을 수행하는 안정적인 방법을 제공합니다. 이 기계의 빠른 처리 속도 (fast processing speed) 와 손쉬운 작동은 모든 연구 또는 산업 응용 분야에 적합합니다.
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