판매용 중고 BALZERS / UNAXIS LLS 900 #9006623

BALZERS/UNAXIS LLS 900 Sputtering Equipment는 반도체 및 기타 고급 나노 기술 응용 분야에 사용하도록 설계된 산업 등급 진공 스퍼터링 기계입니다. UNAXIS LLS 900은 4 개의 4-target 스퍼터링 소스가 장착 된 모듈 식 멀티 챔버 다중 위치 스퍼터링 시스템입니다. 4 개의 챔버 각각은 다른 챔버와 독립적으로 작동 할 수 있습니다. 이 단위는 순차적 스퍼터링, 동시 스퍼터링, 동시 하이브리드 프로세스 등 다양한 증착 프로세스에 적합합니다. BALZERS LLS 900의 주요 챔버는 고품질 스테인리스 스틸 (stainless steel) 과 고진공 피드 스루 (feedthrough) 를 사용하여 깨끗하고 일관되며 오래 지속됩니다. 내부 크기는 18 "x 18" x 24 "(460mm x 460mm x 610mm) 입니다. 챔버 부피는 약 12 입방 피트 (340 리터) 이고 진공 챔버의 기본 압력은 10-7 Torr (1.3e-6 Pa) 입니다. 주 챔버의 큰 작업 영역은 최대 4 개의 추가 외부 챔버로 확대되며, 각각 4 개의 표적 스퍼터링 소스를 포함합니다. LLS 900에는 최신 스퍼터링 머신 기술이 장착되어 있습니다. 밀폐형 루프 제어 시스템 (Closp Control System) 이 내장되어 있고, 높은 신뢰성 전원 공급 도구를 갖추고 있으며, 정교한 도량형 기술을 활용하여 프로세스 제어를 정확하게 수행할 수 있습니다. 4 개의 표적 스퍼터링 소스는 각각 4 개의 마그네트론 또는 다이오드 마그네트론 스퍼터 소스로 구성되어 있으며, 회전 헤드에 배열되어 있어 우수한 증착 균일성을 제공합니다. 편의를 강화하기 위해, 마그네트론/다이오드 스퍼터 헤드 내에서 대상을 자동으로 또는 수동으로 변경할 수 있습니다. BALZERS/UNAXIS LLS 900은 금속, 세라믹, 합금, 산화물 및 질화물을 포함한 다양한 공정 재료와도 호환됩니다. 자산의 다양성과 유연성은 반도체 제작, 박막 장치 제작, 산업 코팅 (industrial coating) 등의 응용 분야에 적합합니다. 이 모델은 가장 까다로운 운영 요구 사항을 충족할 수 있도록 설계되었으며, 무상수리 기간 연장 (Extended Warranties) 을 통해 제공되며, 시간이 지남에 따라 탁월한 성능과 안정성을 제공합니다.