판매용 중고 BALZERS ST 801 #9200579

BALZERS ST 801은 유명한 박막 증착 장비 제조업체 인 BALZERS에서 설계 및 제조 한 Pulsed DC 스퍼터 장비입니다. ST 801 시스템은 다양한 어플리케이션을 위해 박막을 효율적으로 스퍼터링하도록 설계되었습니다. 다양한 물질의 표적을 기판에 최대 8 개, 전자 빔 건 2 개 (전자 빔 건 2 개) 까지 스퍼터 할 수있는 높은 수준의 제어 및 정밀도를 제공합니다. 또한 프로세스 최적화를 쉽게 수행할 수 있으며, 실시간 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 프로세스 매개변수를 모니터링할 수 있습니다. BALZERS ST 801은 매우 큰 진공실을 특징으로하며, 최대 8 개의 표적을 스퍼터링 할 수 있습니다. 챔버 압력은 1 ~ 1E-5 hPa 사이에서 유지 될 수 있습니다. 이 장치에는 빠른 펌프 다운 및 챔버 압력의 정확한 제어를위한 터보 분자 펌프 (turbomolecular pump) 도 포함되어 있습니다. 이 기계는 반응성 직류 (DC) 스퍼터링뿐만 아니라 고밀도 플라즈마 강화 DC (HiPED) 및 마그네트론 스퍼터링을 포함한 비 반응성 스퍼터링 기술뿐만 아니라 전체 범위의 반응성을 생성 할 수 있습니다. ST 801은 또한 고급 사용자 친화적 실시간 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 를 제공합니다. 이 사용자 친화적 인터페이스는 대상 두께, 현재, 전원, 주파수 설정, 기타 작업 매개변수 등의 주요 매개변수에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 또한, GUI 에는 선택한 작업 매개변수를 세밀하게 조정하는 전용 조그 휠 (jog wheel) 이 포함되어 있어 스퍼터링 프로세스를 빠르고 정확하게 최적화할 수 있습니다. BALZERS ST 801에는 2 개의 전자 빔 건이 있으며, 이는 매우 얇은 층의 고해상도, 고속 스퍼터링을 제공합니다. 이 총은 고해상도 에칭 응용 프로그램에도 사용될 수 있습니다. 총은 금속, 실리콘, 반도체와 같은 다양한 종류의 기질에서 미세 한 패턴을 만들 수 있습니다. ST 801 스퍼터링 툴 (Sputtering Tool) 은 안정적인 성능과 운영 단순성을 제공하여 산업 및 연구 어플리케이션 모두에 적합합니다. 이 자산은 사용 편이성을 위해 설계되었으며, 빠르고, 정확하고, 비용 효율적인 스퍼터링 프로세스 최적화를 지원합니다. 이 모델은 박막 증착 (Thin Film Deposition) 과정을 정확하게 제어하고 고품질 박막 (Thin Film) 결과가 필요한 사람들에게 이상적입니다.