판매용 중고 BALZERS SCD 040 #48452

BALZERS SCD 040은 정밀 박막 증착을 위해 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. 이 플랫폼에는 5 개의 공정 챔버, 2 개의 주요 증착실, 2 개의 바닥 난방 및 냉각 시스템 (열 시스템), 야외 냉각실 및 고해상도 플랫 기판 테이블이 장착되어 있습니다. 이 챔버는 PVD (physical vapor deposition), CVD (chemical vapor deposition) 및 금속 및 유전체 필름 증착을위한 열 증발 기술에 사용될 수 있습니다. 이 시스템은 또한 레이저 절제 및 저온 플라즈마 강화 증착을 수행 할 수있는 기능을 제공합니다. 주요 증착실에는 회전 가능한 지지대에 배치 된 마그네트론이 있습니다. 이 로 말미암아 훨씬 더 큰 "스퍼터링 '속도 와 더불어, 오염 의 위험 을 무릅쓰지 않고 한 방 에서 다른 방 으로 표적" 스퍼터링' 을 즉시 옮길 수 있게 된다. 하단 난방 장치 (Bottom heating and cooling systems) 는 정밀 온도 조절이 가능한 저항성 유형 열 소스를 통합하여 정확한 난방 및 냉각 속도를 제공합니다. 이 단위는 크고 두꺼운 기판을 처리 할 수 있으며, 최대 ± 0.2 ° C의 균일 한 온도 균일성을 달성하는 데 이상적입니다. 내부 냉각기는 챔버 내부의 이상적인 온도 범위를 쉽게 유지할 수 있습니다. SCD 040의 노천 냉각실 (open-air cooling chamber) 에는 상공 내부에서 갑작스런 온도 변화를 감지하기 위해 고감도 열전대가 장착되어 있습니다. 이 도구는 또한 고해상도 플랫 기판 테이블 (High Resolution Flat Substrate Table) 을 특징으로하며, 두 공간 방향에서 ± 1.5m 이내까지 병렬화를 보장합니다. 이 표는 독점적 인 공구없는 기판 처킹 (substrate chucking) 기법과 결합되어 증착 과정이 시작되기 전에 기판을 부착하는 데 필요한 시간을 크게 줄입니다. 에셋은 또한 티타늄, 알루미나, 질화물 티타늄과 같은 코팅 재료를위한 여러 구성 옵션을 제공합니다 (예:). 또한 특허를받은 스테레오 이미징 질량 분석기 (stereo-imaging mass spectrometer) 가 제공되어 인라인, 실시간, 다중 포인트 플라즈마 밀도 분석을 통해 증착 과정의 품질과 성능을 제어할 수 있습니다. 마지막으로, BALZERS SCD 040 은 원격 제어 및 현장 서비스 기능을 제공하도록 설계되었으며, 원격 위치에서 직접 통신 및 구성을 지원합니다. 이는 연구 및 개발, 산업 및 분석 응용 분야에 적합합니다.