판매용 중고 BALZERS LLS 802 #9313125

BALZERS LLS 802는 광범위한 스퍼터링 어플리케이션을 위해 고급적이고 효율적인 증착 프로세스를 제공하기 위해 설계된 최첨단 스퍼터링 (sputtering) 장비입니다. 이 장치는 최대 8 개의 스퍼터링 대상을 사용할 수 있으며, 최대 8 개의 다른 재료로 구성된 다층 침착물을 허용합니다. 또한 고급 전원 공급 장치 (Power Supply) 기술로 인해 높은 프로세스 안정성을 가지고 있어 안정적이고 고성능 스퍼터링 프로세스를 보장합니다. LLS 802는 시간당 0.1 미크론에서 시간당 0.2 미크론까지 조정 할 수있는 스퍼터 레이트 (sputter rate) 를 가지며, 대부분의 응용 프로그램의 균일 성과 증착율 안정성이 뛰어납니다. 이것 은 "스퍼터링 '공정 의 효율성 을 최대화 시켜, 얇은 자기" 필름' 에서부터 넓은 영역 의 "디스플레이 '에 이르기 까지, 광범위 한" 응용 프로그램' 을 한다. 이 시스템에는 여러 프로세스에 사용할 수 있는 완전 자동 로드 잠금 (Full Automated Load Lock) 과 스퍼터링 프로세스의 끝점을 정밀 제어하기 위한 컴퓨터 제어 자동 끝점 감지 (Computer-controlled Automatic End Point Detection) 옵션이 있는 고유한 자동화 기능이 있습니다. 또한 원격 제어 기능을 통해 프로세스 진행 중에 텔레비전을 모니터링할 수 있습니다. 이 단위는 열적으로 안정적이며, 이는 표면에서 온도의 균일성을 보장하므로, 예금 공정의 균일성을 제공한다. 발저 (BALZERS) 에는 또한 낮은 온도에서 스퍼터 에칭 (sputter etching) 및 스퍼터 증착에 사용될 수있는 비활성 가스 공급이 있습니다. 또한, 로드 잠금 (load lock) 의 온도 범위는 20 ° C ~ 1000 ° C이며 스퍼터링 조건 및 공정 안정성을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 강력한 소프트웨어를 갖추고 있어 스퍼터 매개변수 (sputter parameters) 의 정확한 운영자 제어, 향상된 현장 프로세스 모니터링, 여러 프로세스 자동화 및 종점 제어 (End Point Control) 를 지원합니다. 내장 된 진공 인버터 기술 (Vacuum Inverter Technology) 은 스퍼터 처리에 필요한 높은 진공을 유지하고 제어 할 수있는 기능뿐만 아니라 빠른 다운 타임도 제공합니다. 전반적으로 BALZERS LLS 802 (BALZERS LLS 802) 는 광범위한 기능을 갖춘 강력하고 신뢰할 수있는 장치로, 다양한 유형의 스퍼터링 애플리케이션에 적합합니다. 이 제품은 정교한 자동화 기능, 강력한 소프트웨어와 더불어 높은 수준의 프로세스 제어 (process control) 및 정확성을 제공하여 증착 프로세스의 효율성을 높이고 안정적인 스퍼터 프로세스 (sputter process) 를 보장합니다.