판매용 중고 BALZERS LLS 802 #293813030

BALZERS LLS 802는 산업 규모의 생산을 위해 설계된 고급 스퍼터링 도구입니다. 그 장비 는 저전력 RF 발전기 를 이용 하여, 그 다음 에 기판 에 증착 되는 전자 "빔 '에 물질 을 노출 시킨다. 이 스퍼터링 시스템의 챔버 크기는 800mm x 400mm이며, 넓은 지역에 걸쳐 균일하고 결함이없는 필름 증착을 제공합니다. 또한 온도, 출력 전력 등 다양한 증착 매개변수를 제공합니다. LLS 802 장치는 다양한 박막 재료의 스퍼터링에 이상적입니다. 알루미늄, 금, 니켈, 구리 및 티타늄과 같은 얇은 필름을 퇴적시킬 수 있습니다. 기계는 또한 기판의 스퍼터 청소를위한 중앙 게이트 (Central Gate) 와 기판 홀더, 가스 인젝터 및 고주파 접지 연결 (High Frequency Ground Connection) 을 포함합니다. 이 도구는 박막 트랜지스터, 전자 부품, 박막 배터리 등 다양한 박막 (thin-film transistor) 의 스퍼터링에 사용할 수 있습니다. 이 자산은 코팅 (coating) 과 관련하여 유연성을 제공합니다. 이 모델은 전기 특성 (electrical properties) 을 변경하여 적용해야 하는 모든 필름에 맞게 조정할 수 있기 때문입니다. 장비는 유전체, 도체 및 반도체 필름, 접착층, 확산 장벽, 산화 층, 곡면 필름 등을 적용하는 데 사용될 수 있습니다. BALZERS LLS 802에는 벨트 구동 기판 수송기와 작은 기본 압력이 1.3 * 10-3 mbar 인 진공 챔버가 장착되어 있습니다. 이를 통해 제어 환경에서 고품질 스퍼터링 프로세스가 가능합니다. 이 시스템은 또한 25 ° C ~ 400 ° C의 다양한 온도 조절 옵션을 제공하여 다양한 증착 과정을 허용합니다. LLS 802 스퍼터링 장치는 안정성과 효율적인 프로세스 제어를 위해 제작되었습니다. 자동 도어 인터 록 (automated door interlock), 비상 정지 (emergency stop) 및 비상 차단 밸브와 같은 여러 안전 기능이 포함되어 있습니다. 또한 프로세스 자동화, 데이터 수집, 보고서 작성에 사용하기 쉬운 GUI (Graphical User Interface) 를 제공합니다. BALZERS LLS 802는 산업 생산에서 박막 층의 스퍼터링을위한 이상적인 도구입니다. 다양한 기능과 최첨단 기술을 통해 최고의 필름 증착 (film deposition) 표준을 충족 할 수 있습니다. 이 제품은 사용자에게 높은 균일성, 좋은 재현성, 결함이 없는 레이어, 효율적인 프로세스 제어를 제공하도록 설계되었습니다.