판매용 중고 BALZERS LLS 801 #9240378
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ID: 9240378
웨이퍼 크기: 6"
Metal sputtering system, 6"
Chemicals: Cr, TiW, NiV, Au, SQ
On board water pump.
BALZERS LLS 801은 광범위한 박막 (thin film) 및 코팅 응용 프로그램 생산을 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 뛰어난 재료 전달, 높은 필름 균일성, 매우 정확한 필름 매개변수 제어를 통해 높은 증착률을 제공하는 캐소딕 아크 증착 (CAD) 기술을 사용합니다. 이 시스템은 최첨단 구성요소와 직관적인 소프트웨어 (Software) 를 갖추고 있어 연구와 생산 활동을 위한 안정적이고, 견고하며, 효율성이 높은 선택입니다. LLS 801은 제한된 공간에 설치할 수있는 간단하고 컴팩트한 디자인입니다. 청결한 환경과 높은 수준의 진공 상태를 유지할 수있는 터보-분자 펌프 (turbo-molecular pump) 를 포함하여 진공 성분이 통합되어 있습니다. 이 장치 에는 "밸브 '와" 파이핑' 이 들어 있는 "가스 박스 '가 들어 있어 진공실 에 가공" 가스' 를 도입 할 수 있다. 또한, 벽의 가열로 챔버의 온도를 조정할 수 있습니다. 이 기계는 직관적인 프로그래밍, 시각화, 데이터 획득 도구를 갖춘 고급 PC 기반 사용자 인터페이스로 구동됩니다. 이는 전력 수준, 목표 구성, 기판 온도, 소스 가스 유량 (source gas flow rate) 등 스퍼터링 프로세스에 영향을 미치는 다양한 매개변수를 정확하게 제어하고 모니터링하는 데 사용될 수 있습니다. 이것은 스퍼터 된 필름 내에서 균일성을 보장하고 반복 성을 향상시키는 데 도움이됩니다. 이 도구는 반도체, 유전체, 금속, 절연체, 중합체 등 다양한 재료를 위해 박막을 준비하는 데 이상적입니다. 필름 강착 두께, 구성 및 구조는 미세 조정 될 수 있으므로 광전자 (optoelectronics) 및 디스플레이 장치 (display devices) 에서 에너지 저장 (energy storage) 및 기타 마이크로 전자 장치 (microelectronic devices) 에 이르기까지 다양한 산업 응용 분야에 적합한 선택입니다. BALZERS LLS 801 자산은 사용자에게 고도로 맞춤형 박막을 만들 수있는 유연성을 제공합니다. 또한, 모델은 모든 증착 매개변수를 정확하게 제어하고, 전체 웨이퍼에 대해 높은 균일성을 제공합니다. 이 장비는 사용자 친화적 인 소프트웨어와 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 사용이 간편합니다. 따라서 연구 환경과 생산 환경 모두에 적합합니다.
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