판매용 중고 BALZERS LLS 801 #9199165

BALZERS LLS 801 스퍼터링 (sputtering) 장비는 스퍼터 속도가 높은 박막 (thin film) 을 효율적이고 정확하게 증착하도록 설계된 다재다능한 도구입니다. 이 시스템에는 3 포켓 포탑이 장착되어 있으며, 스퍼터 속도가 다른 한 번에 최대 3 개의 재료를 증착하여 균질 한 박막 증착을 초래합니다. 대용량 로드 잠금 장치 (load-lock unit) 를 통해 기판을 신속하게 설치 및 제거할 수 있어 효율성이 향상됩니다. 이 기계는 큰 작동 챔버 (working chamber) 로 더욱 향상되어 직경이 최대 180mm 인 기판을 최대 4 개 처리 할 수 있습니다. LLS 801 은 모듈식 (modular) 설계를 통해 다양한 구성을 통해 특정 요구 사항을 충족합니다. 3 단계 터보 진공 펌프를 사용하여 기본 압력 7x10-8mbar를 달성합니다. 이 도구는 85MHz RF 전원 공급 장치를 장착하여 최고 800W (최고 800W) 의 초고전력 레벨 (최적 필름 품질 및 스퍼터 속도) 을 제공합니다. Pulse Power Supply 옵션을 사용하여 증착률을 높일 수도 있습니다. BALZERS LLS 801은 자동 마이크로파 기판 가열 모듈을 사용하여 최대 400 ° C의 정밀한 동종 가열을 허용합니다. 이 공정 은 "노우들 '을 방지 하고 심지어 표적 의 사용 까지 보장 하는 데 도움 이 되는 난류 발전기 로 더욱 강화 된다. 서클 스윕 자기 고정 (Circle Sweep Magnetic Confinement) 과 입자 반발을 줄이고 품질 및 필름 커버리지의 선형성을 향상시키는 Open Flux Exception을 통합하여 스퍼터링 모드를 변경할 수 있습니다. LLS 801은 다양하고 정교한 스퍼터링 에셋으로, 원하는 속성을 가진 박막 (thin film) 의 효율적이고 정확한 예금을 만들 수 있습니다. 모듈식 설계, 다중 구성 (Multiple Configuration), 고급 (Enhanced) 기능을 통해 다양한 애플리케이션의 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 자동 마이크로파 기판 난방 모듈, 효율적인 로드 잠금 모델, 초고전력 수준을 갖춘 BALZERS LLS 801은 박막 증착에 이상적인 솔루션입니다.