판매용 중고 BALZERS LLS 801 #9171464

BALZERS LLS 801 스퍼터링 장비 (Sputtering Equipment) 는 다양한 기판에서 보호 코팅을 만드는 데 사용되는 고급 진공 처리 도구입니다. 광학적으로 매력적이고, 화학적으로 불활성이며, 기계적으로 내구성 있는 보호 코팅 (protection coating) 을 생성하기 위해 얇은 층의 대상 물질을 기판 표면에 배치하도록 설계되었습니다. LLS 801 스퍼터링 시스템 (Sputtering System) 은 BALZERS에서 이미 유명한 LLS 시스템 제품군을 기반으로 구축되며, 우수한 프로세스 반복성을 유지하면서 개선된 균일성과 증착률을 제공합니다. BALZERS LLS 801 스퍼터링 장치는 다음과 같은 몇 가지 중요한 하위 시스템으로 구성됩니다. * RF 전원 공급 장치: 이 하위 시스템은 스퍼터링에 필요한 RF 전원을 생성하는 수단을 제공합니다. * 대상 자석 어셈블리: 이 하위 시스템에는 표적과 기판 사이의 간격 (gap) 영역에서 안정적인 매력력을 유지하기 위해 사용되는 2 개의 전자석 (electromagnet) 과 제어 전자 장치 (control electronics) 가 포함됩니다. * 대상 어셈블리: 대상 어셈블리에는 대상 재료가 있으며 연결된 RF 전극이 있습니다. * 기판 어셈블리: 기판 어셈블리에는 기판 홀더와 접지 실드가 포함되어 있습니다. * 진공 기계: 이 하위 시스템은 확산 펌프, 황삭 밸브 및 터보 펌프로 구성됩니다. LLS 801 스퍼터링 도구의 작동 원리는 물리적 스퍼터링 프로세스를 기반으로합니다. RF 전원 공급 장치는 외부 소스에서 RF 전원을 생성하며, 이 전원은 대상 어셈블리에 직접 연결됩니다. 이 로 말미암아, 표적 과 기판 사이 에 매력적 인 힘 이 생기게 되며, 따라서 표적 물질 은 절단 된 다음, 기판 에 증착 된다. RF 전원 공급 장치는 일반적으로 13.56MHz 근처에서 작동하기 때문에, 목표는 거의 지속적으로 증기-플라즈마 상태이며, 이는 BALZERS LLS 801 Sputtering Asset에서 제공하는 균일 성 및 증착 속도를 향상시키는 데 도움이됩니다. 또한, 표적 자석 (magnet) 어셈블리 내의 2 개의 전자기 (electromagnet) 는 표적과 기판 사이의 안정적인 매력력을 유지하는 데 사용되며, 이는 매번 균일 한 코팅을 보장하는 데 도움이됩니다. 자석은 또한 목표에서 소실되는 전력의 양을 감소시켜 LLS 801 스퍼터링 모델 (Sputtering Model) 을 매우 에너지 효율적으로 만드는 데 도움이됩니다. BALZERS LLS 801 스퍼터링 장비 (Sputtering Equipment) 는 다양한 재료를 스퍼터링 할 수 있기 때문에 매우 다재다능합니다. 이 시스템은 의료 기기 제조, 전자 부품 제조, 광학 생산 및 항공 우주 코팅과 같은 산업에 널리 사용됩니다. 전반적으로 LLS 801 스퍼터링 유닛 (LLS 801 Sputtering Unit) 은 다양한 기판에 얇은 보호 코팅을 만드는 뛰어난 도구입니다. 통일 된 박막 (Thin Film) 을 매번 빠르고 효율적으로 증착 할 수있는 안정적이고 에너지 효율적인 스퍼터링 머신입니다. 최적 증착 균일성 (optimal deposition uniformity) 과 속도 (rate) 를 보장하기 위해 꾸준한 매력을 유지하는 2 개의 자석을 갖는 추가 이점이 있습니다.