판매용 중고 BALZERS HVS-107 #9254561

BALZERS HVS-107은 리히텐슈타인의 BALZERS 컴퍼니 (BALZERS Company of Liechtenstein) 가 개발 한 고진공 스퍼터링 장비로, 다양한 산업 분야에서 기판에 박막 코팅을 입금하는 데 사용됩니다. 이 시스템은 여러 개의 독립적 인 스퍼터링 소스와 결합 된 초고진공 챔버 (ultra-high-vacuum chamber) 를 사용하여 고품질 코팅을 적용하는 강력하고 다양한 수단을 제공합니다. HVS-107의 챔버 (chamber) 는 스테인리스 스틸 진공선으로 구성되어 있으며, 이는 0.1mbar의 기본 압력으로 대피하기 위해 건설됩니다. 그런 다음 "가스 '내부 에 이온화 된" 가스' 를 넣어 준비 하여 기판 에 균일 한 "스퍼터링 '을 촉진 시킨다. 정전기 안전 쉴드는 고 에너지 플라즈마 방전으로부터 추가 보호를 제공합니다. 챔버에는 여러 개의 포트가 장착되어 있으며, 마그네트론 (Magnetron), 플라즈마트론 (Plasmatron) 및 ECR 소스를 포함한 다양한 소스뿐만 아니라 기판을 잡기위한 다양한 특수 도구와 비품에 연결할 수 있습니다. BALZERS HVS-107의 스퍼터링 소스는 독립적으로 제어되어 여러 재료의 동시 또는 교대 증착이 가능합니다. 각 소스에는 커스텀 디자인 쿼츠 돔 (quartz dome) 이 있으며, 이 돔에는 선택의 전극 재료가 늘어서 있으며, 영구 자석으로 뒷받침되어 이온의 플라즈마가 생성됩니다. 이 "플라즈마 '는 고온 에서 유지 된 다음 기질 로 향한다. "이온 '밀도 와 전압 을 적절 한 수준 으로 유지 함 으로써" 코우트' 증착 과정 은 매우 반복 되고 효율적 일 수 있다. HVS-107 장치는 높은 증착율을 달성 할 수 있으며, 금, 알루미늄, 티타늄과 같은 금속에서 질화 실리콘과 같은 유전체에 이르기까지 광범위한 물질을 증착 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 성능 향상을 위해 여러 구성 요소로 구성된 복합 코팅 (composite coating) 을 배치 할 수 있습니다. 인라인 (In-Line) 모니터링 센서 (옵션) 와 결합하면 도구가 정확한 설정으로 프로그래밍되어 모든 코팅 주기에 대한 반복성과 일관성을 보장할 수 있습니다. BALZERS HVS-107은 강력하고 효율적인 스퍼터링 자산으로, 뛰어난 균일성과 반복성으로 고성능 코팅을 증착 할 수 있습니다. 이 모델은 의료 임플란트 (Medical Implant), 반도체 부품 (Semiconductor Component), 광학 부품 (Optics Component) 과 같은 광범위한 산업 및 기술 응용 분야에서 안정적이고 정확한 증착을 제공하도록 설계되었습니다.