판매용 중고 BALZERS / EVATEC MSP 1000 #9164752

BALZERS/EVATEC MSP 1000 스퍼터링 장비는 다양한 소재의 박막 코팅을 위해 설계된 고급 시스템입니다. 멀티 챔버 유닛으로, 스퍼터 증착에 여러 증착원을 사용할 수 있습니다. 이 기계는 2 차 전자 방출 모니터를 포함하는 최초의 기계로, 최적의 성능을 보장합니다. 이 도구는 자동 배출 메커니즘을 사용하여 기판 전송을 쉽게 할 수 있습니다. 자산에는 4 개의 교환 가능한 스퍼터링 소스가 있으며, 각각은 두께, 구성 또는 다중 계층 증착으로 코팅 할 수 있습니다. 소스는 질소/아르곤 가스 조합이며 스퍼터링 속도가 최대 24 mbar입니다. EVATEC MSP 1000은 최대 6 개의 기질을 동시에 보유하는 로드 록이있는 공정 반응 챔버 (process reaction chamber) 를 갖는다. 이 모델은 최대 500x500 mm 기판을 수용 할 수 있으며, 추가 액세서리 구성 요소로 더 큰 기판을 코팅 할 수있는 기능도 있습니다. 기질 온도는 25 ° C에서 800 ° C로 조절 될 수 있습니다. 증착 과정은 고급 마이크로 프로세서 기반 제어 장치 (Control Unit) 를 사용하여 모니터링 및 제어됩니다. 이 장치는 PC와 상호 작용하여 증착 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 장비는 균일 한 증착을 보장하고 오염을 줄이기 위해 제작되었으며, 벨로우 밀봉 된 게이트 밸브 (gate valve) 와 진공 누출 탐지기 (vacuum leak detector) 를 포함합니다. 이 시스템에는 자동 "가스 '전달 장치 (옵션) 가 제공되어 가스 혼합물을 정확하고 편리하게 제어할 수 있습니다. 가스 전달 기계는 가스 라인으로 반응 챔버에 연결됩니다. 이 선은 또한 스퍼터 소스와 연결되어 수동 가스 교환 (manual gas exchange) 이 필요하지 않습니다. 스퍼터 소스에는 정확한 위치 제어를 위해 스테퍼 모터와 인코더가 있습니다. BALZERS MSP 1000은 박막 증착을위한 고도의 스퍼터링 도구입니다. 이 자산은 반응성 스퍼터링 소스 (sputtering source), 증착 제어 기능 (deposition control features) 및 안전 측정 (safety measures) 을 통해 다양한 유형의 증착 과정을 처리 할 수 있습니다. 첨단 제어 장치 (Advanced Control Unit), 가스 전달 모델 (Gas Delivery Model) 및 기타 기능은 오염을 최소화하면서 정확하고 효율적인 증착을 보장합니다.