판매용 중고 BALZERS / EVATEC Clusterline 200 #9387714

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ID: 9387714
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2015
PVD System, 8" LED Wireless Thin film head 2015 vintage.
BALZERS/EVATEC Clusterline 200은 PVD (Physical Vapor Deposition), 음극 호 증착, 반응성 스퍼터링 및 펄스 레이저 증착과 같은 프로세스를 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 새로운 프로세스 (new process) 를 쉽게 통합하거나 기존 프로세스로 업그레이드할 수 있는 구성 가능한 아키텍처를 갖추고 있습니다. 이 장치는 최대 11 개의 독립 스퍼터 모듈로 구성 될 수 있으며, 각각 다른 코팅 또는 기판을 스퍼터링하도록 구성 할 수 있으며, 최대 침전율은 최대 5,000 옹스트롬/분 (Angstrom/min) 입니다. 이 기계는 또한 표면의 거칠기 (roughness) 나 경도 평가 (hardness) 와 같은 품질 보증 측정을 제공하기 위해 사용할 수있는 2 개의 추가 테스트 챔버를 갖추고 있습니다. 각 스퍼터 모듈에는 강력한 디지털 RF (Radio-Frequency) 전원 공급 장치가 장착되어 있어, 사용자가 코팅 매개변수를 매우 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한이 도구에는 독립적 인 온도 및 압력 제어 시스템 (pressure control system) 이 장착되어 다양한 기판 및 코팅에서 일관된 증착 결과를 보장합니다. 또한, 자산에는 포괄적인 안전 (Safety) 모델이 장착되어 있어 모든 업계 표준을 충족할 수 있습니다. 마지막으로, EVATEC Clusterline 200 은 안정성이 높고 유지 보수가 용이하여 가동 시간이 길어지고 성능이 길어집니다. 전반적으로 BALZERS Clusterline 200은 일관된 코팅과 정확한 측정을 제공하기 위해 설계된 안정적이고 효율적인 스퍼터링 장비입니다.
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