판매용 중고 BALZERS Corona #9254502
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BALZERS 코로나 (BALZERS Corona) 는 다양한 기판에서 고정밀 코팅 두께를 정확하게 제어해야합니다. 이 시스템은 광학 코팅 (optical coating) 에서 가장 까다로운 기술 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 진공실, 스퍼터 소스, 대상 보유자, 증착원 지방 흡입술, 회전 어셈블리, 차단 트랙 및 보호로 구성됩니다. 진공실 은 내구성 이 뛰어난 "스테인레스 '강 으로 만들어졌으며 대피 장치 를 갖추고 있다. 이것 은 "기판 '이 깨끗 하고 고진공" 가스' 에만 노출 되어 오염 및 기타 불순물 로부터 보호 해 준다. 방의 내부 벽에는 정력 입자를 흡수하고 코팅 과정에서 이온의 역 산란을 줄이는 알루미늄 (aluminum) 과 붕소 질화물 (boron nitride) 타일이 늘어서 있습니다. 스퍼터 소스는 유전체 (dielectric) 및 자기 차폐 (magnetic shielding) 로 만들어져 뛰어난 프로세스 안정성을 촉진하고 침착 된 필름과의 접촉을 줄입니다. 이 기계는 금속, 산화물, 질화물 및 탄화물을 스퍼터링 할 수 있습니다. 각 스퍼터링 소스를 독립적으로 조정하여 대상 곡률 (curvature) 및 기판 회전 (substrate rotation) 을 허용할 수 있습니다. 대상 (Target) 보유자는 다양한 크기의 타겟을 보유하여 손쉽고 깨끗하게 제거할 수 있도록 설계되었습니다. 증착원은 지방 흡입술 (liposuction) 을 사용하여 기판 위에 장착 될 수 있으며, 이는 매우 균일 한 코팅 두께를 제공합니다. 회전 어셈블리 (Rotation assembly) 는 기판이 증착 과정에서 회전할 수 있도록 하고, 적용 범위 품질, 서피스 평등 및 두께 균일성을 최적화하는 데 사용됩니다. 셧오프 (Shut-off) 트랙도 포함되어 있으며, 이를 통해 사용자는 증착 과정을 언제 종료할지 확인할 수 있습니다. 마지막으로, 코팅 과정에서 실수로 스패터 (spatter) 와 기판으로의 충격을 방지하기 위해 보호가 제공됩니다. 코로나 (Corona) 의 스퍼터링 도구는 고정밀 코팅에 정확하고 반복 가능한 결과를 제공하기 위해 이상적입니다. 잘 설계 된이 자산은 우수한 접착력과 정확한 광학 특성을 제공합니다. 높은 품질의 결과를 필요로 하는 까다로운 프로젝트에 적합한 솔루션입니다.
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