판매용 중고 BALZERS Corona #9254500

발저스 코로나 (BALZERS Corona) 는 혁신적인 고진공 코팅 시스템 및 부품 생산을 전문으로하는 스위스 회사 인 BALZERS에서 제조 한 스퍼터링 장비입니다. 코로나 (Corona) 시스템은 마그네트론 스퍼터링 (magnetron sputtering) 에 사용되어 유리, 금속 또는 유기 재료와 같은 다른 표면에 다른 층을 증착 할 수 있습니다. 이 장치는 고급 재료의 고정밀 스퍼터링을 위해 특별히 설계되었습니다. 고층 밀도, 완벽하게 매끄럽고 균질 한 코팅, 투명 코팅 (transparent coating) 및 코팅 두께와 스텝 커버리지 (step coverage) 와 같은 다양한 특성을 달성 할 수있는 초 다용도 스퍼터링 도구로 간주됩니다. 발저스 코로나 (BALZERS Corona) 는 자동화된 생산 프로세스에 적합한 솔루션으로, 프로토타입 개발에도 적합합니다. 스퍼터링 머신은 2 개의 활성 대상, 2 개의 수동 대상 및 3 개의 기판 홀더가 장착 된 수평 모양의 진공 챔버를 사용합니다. 활성 대상은 CFM (magnetic-field-enhanced) 대상이며 수동 대상은 플랜지 장착입니다. 공정 전력, 압력, 전류 및 온도는 모두 코팅 프로세스 (coating process) 동안 모니터링되고 조절이 가능하므로 공정 제어가 단단합니다. 이 도구는 직경 300 mm, 길이 450 mm 의 기판을 처리 할 수 있습니다. 자산은 또한 자동 목표 변경 모델 (auto-target changing model) 및 내부 가스 가열 장비 (internal gas heating equipment) 와 같은 옵션을 제공하여 조절 및 안정적인 코팅 온도를 허용합니다. 코로나 (Corona) 시스템은 또한 사용자에게 필요한 모든 정보를 제공하는 고급 운영 소프트웨어를 갖추고 있습니다. 사용자는 배치 매개변수 (deposition parameter), 작업 로그 (job log) 를 표시하고 특정 애플리케이션 요구에 맞게 설정과 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. 전반적으로 BALZERS Corona 스퍼터링 장치는 고급 재료의 고정밀 스퍼터링을위한 효율적이고 안정적인 도구입니다. 레이어 증착 (layer deposition) 에 대한 다양한 가능성을 제공하여, 한 레이어에서 다음 레이어에 이르기까지 다양한 특성을 제공합니다. 기계 는 "코우팅 '을 원하는 결과 를 얻기 위하여" 코우팅' 을 조절 하고 안정적 인 온도 를 유지 하고 "공정 '을 단단 히 조절 한다. 하이엔드 기술 덕분에, 이 툴은 산업 및 연구 애플리케이션에 적합합니다.