판매용 중고 BALZERS Circulus M 95/12 #9137154

BALZERS Circulus M 95/12는 다양한 응용 분야에 박막을 입금하는 데 사용되는 정교하면서도 쉽게 작동 할 수있는 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 최대 95 keV의 에너지를 스퍼터링 할 수있는 매우 정밀한 무자기성 발전기 (will-less electromagnetic generator) 와 최대 12 테슬라 (Tesla) 의 자기장을 조정할 수 있습니다. 발전기 는 회전 할 수 있는 음극 에 연결 되는데, 그 음극 은 기판 에 있는 "스퍼터 '된 물질 의 균질 을 개선 하기 위해 돌릴 수 있다. 음극 주위에 장착 된 추가 전극 (옵션) 을 사용하여 선택적 스퍼터링을 더욱 향상시킬 수 있습니다. 이 장치는 높은 생산 처리량을 위해 설계되었으며 직경이 최대 12.5cm 인 원형 모양의 조리개가있는 200 x 200mm (200 x 200mm) 의 최대 기판 크기를 자랑합니다. 독립 가스 및 압력 제어가 가능한 고용량 GFC (Gas Flow Controller) 머신이 장착되어 있어 매우 정확한 스퍼터링 프로세스 제어가 가능합니다. 이 도구는 또한 고정밀 전압 스캔 기능을 제공하며, 옵션 (autodeposition kit) 을 통해 가변 온도 및 전력 변조를 제공하여 기판의 균질성을 더욱 향상시킵니다. BALZERS Circulus M 95/12는 자기 기록 미디어, 박막 트랜지스터, 커패시터, 고급 광학 및 MEMS 장치를 포함한 다양한 스퍼터링 응용 프로그램에 적합합니다. 이 자산은 신뢰성이 높고 견고하며, 24 개월 부품과 인건비 보증이 지원되며, CE 및 UL 표준을 준수하도록 인증되었습니다. 사용자 친화적 인 인터페이스, 디지털 제어 센터 및 자동 이벤트 로깅 기능을 갖춘 BALZERS Circulus M 95/12는 연구, 프로토타입, 프로덕션 스퍼터링 어플리케이션에 이상적인 기계입니다.