판매용 중고 BALZERS BAS 450 #9235090
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ID: 9235090
RF sputtering system
(3) DC Magnetron stations
CTI 8" cry-o air cooled compressor
Water manifold
RF back sputter
Substrate heat
Included manuals and drawings.
BALZERS BAS 450 Sputtering Equipment는 전자 응용 프로그램, 반도체 제조, 관련 연구 및 개발 개발에 사용되는 강력하고 다양한 도구입니다. 이 시스템은 하드웨어 (hardware) 와 소프트웨어 (software) 로 구성되며, 사용자는 증착 공정으로 인한 열 또는 광학 손상 없이 다양한 재료를 기판에 정확하게 배치 할 수 있습니다. 이 장치에는 유연한 소스 챔버 (flexible source chamber) 가 포함되어 있으며, 여기서 증착되는 재료의 유형과 증착율이 신중하게 제어됩니다. 이 방에는 산화로부터 물질을 보호하기 위해 비활성 가스 (inert gas) 와 물질이 침전되지 않을 때 안전한 밀봉을 위해 자동 셔터 (automated shutter) 가 장착되어 있습니다. "스퍼터링 '과정 중 에 기질 이 산화 되지 않도록 불활성" 가스' 를 갖춘 진공 "가스 '내 에 기질 을 보유 한다. 약실 은 "마그네트론 '음극" 세트' 와 표적 "홀더 '에 연결 되어 전기적 인 호 를 만들어" 스퍼터' 를 한 물질 을 기판 에 방출 할 수 있게 한다. "아아크 '에 전압 과 전류 를 수정 함 으로써" 아아크' 에 있는 재료 의 적출률 과 크기, 모양, 분포 를 제어 할 수 있다. BAS 450 은 정밀 엔지니어링 및 측정 기술을 사용하여 증착된 물질의 정확성과 반복성을 보장합니다. 기계 내 의 "로터 '들 은 완전 히 평면적 이 되도록 설계 되었으며, 따라서 증착 된" 로터' 는 기판 의 표면 에 균일 한 분포 를 가지고 있다. 또한 고급 자동 매핑 (automated mapping) 기술을 통해 사용자가 증착 프로세스를 계획하고 최적화 할 수 있습니다. 이것은 시험 및 오류 실험의 시간을 줄이고 기판 전체에 걸쳐 일관된 품질을 유지하는 데 도움이됩니다. 발 저스 (BALZERS) BAS 450에는 안전 및 제어 시스템이 장착되어 자산이 최적의 상태로 유지되고 직원들이 부상을 입지 않도록 보호합니다. 이 모델에는 레이저 빔 (laser beam) 보호 장치, 비상 차단 및 환기 시스템, 기타 여러 안전 시스템이 포함됩니다. 경보 장비에는 가청 경보, 벨 (bell), 경보 기록, 경보 발생 당시 공인 직원의 연락처 (contact details) 가 장착되어 있습니다. BAS 450 스퍼터링 시스템은 안정적이고, 안전하며, 비용 효율적인 방법으로 재료를 정확하게 증착 할 수 있습니다. 첨단 자동화 기술은 재료 증착에 필요한 시험 및 오류 (trial-and-error) 실험량을 줄이고 정확하고 일관된 품질을 보장합니다. 현대 반도체 제조업 (반도체) 의 핵심 구성 요소이며, 고급 기능으로 인해 광범위한 전자 애플리케이션 (electronic application) 을 개발하는 데 귀중한 도구입니다.
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